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Plasma-Systeme

Plasma-Systeme
  • Stripping-Tool

    Artikelnr.: MA1250D-115BB

    Bauart
    R&D / Pilot Production Tool
    Netzspannung [V]
    208
    Prozessgas 1
    O2
    Prozessgas 2
    N2
    Prozessgas 3
    N2
    Prozessgas 4
    -
    Prozessgas 5
    -
    Prozessgas 6
    -
    Temperatursensoren
    2
    Arbeitsplattengröße [mm (inch)]
    245 x 245 (9.65 x 9.65)
    Mehr Details
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  • Stripping-Tool

    Artikelnr.: MA1250D-117BB

    Bauart
    R&D / Pilot Production Tool
    Netzspannung [V]
    400
    Prozessgas 1
    O2
    Prozessgas 2
    N2
    Prozessgas 3
    CF4
    Prozessgas 4
    -
    Prozessgas 5
    -
    Prozessgas 6
    -
    Temperatursensoren
    2
    Arbeitsplattengröße [mm (inch)]
    245 x 245 (9.65 x 9.65)
    Mehr Details
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  • Stripping-Tool

    Artikelnr.: MA1250D-118BB

    Bauart
    R&D / Pilot Production Tool
    Netzspannung [V]
    480
    Prozessgas 1
    O2
    Prozessgas 2
    N2
    Prozessgas 3
    CF4
    Prozessgas 4
    N2
    Prozessgas 5
    -
    Prozessgas 6
    -
    Temperatursensoren
    2
    Arbeitsplattengröße [mm (inch)]
    245 x 245 (9.65 x 9.65)
    Mehr Details
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  • Stripping-Tool

    Artikelnr.: MA3000D-201BB

    Bauart
    High Volume Production Tool
    Netzspannung [V]
    400
    Prozessgas 1
    O2
    Prozessgas 2
    CF4
    Prozessgas 3
    N2
    Prozessgas 4
    O2
    Prozessgas 5
    -
    Prozessgas 6
    -
    Temperatursensoren
    9
    Arbeitsplattengröße [mm (inch)]
    470 x 470 (18.50 x 18.50)
    Mehr Details
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  • Stripping-Tool

    Artikelnr.: MA3000D-221BB

    Bauart
    High Volume Production Tool
    Netzspannung [V]
    400
    Prozessgas 1
    O2
    Prozessgas 2
    CF4
    Prozessgas 3
    N2
    Prozessgas 4
    -
    Prozessgas 5
    -
    Prozessgas 6
    -
    Temperatursensoren
    5
    Arbeitsplattengröße [mm (inch)]
    470 x 470 (18.50 x 18.50)
    Mehr Details
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  • Stripping-Tool

    Artikelnr.: MA3000D-251BB

    Bauart
    High Volume Production Tool
    Netzspannung [V]
    400
    Prozessgas 1
    O2
    Prozessgas 2
    CF4
    Prozessgas 3
    N2
    Prozessgas 4
    -
    Prozessgas 5
    -
    Prozessgas 6
    -
    Temperatursensoren
    9
    Arbeitsplattengröße [mm (inch)]
    470 x 470 (18.50 x 18.50)
    Mehr Details
    MerklisteBereits auf der Merkliste
    Merkliste
  • Stripping-Tool

    Artikelnr.: MA3000D-271BB

    Bauart
    High Volume Production Tool
    Netzspannung [V]
    480
    Prozessgas 1
    O2
    Prozessgas 2
    CF4
    Prozessgas 3
    N2
    Prozessgas 4
    O2
    Prozessgas 5
    -
    Prozessgas 6
    -
    Temperatursensoren
    9
    Arbeitsplattengröße [mm (inch)]
    470 x 470 (18.50 x 18.50)
    Mehr Details
    MerklisteBereits auf der Merkliste
    Merkliste
  • Stripping-Tool

    Artikelnr.: MA3000D-291BB

    Bauart
    High Volume Production Tool
    Netzspannung [V]
    400
    Prozessgas 1
    O2
    Prozessgas 2
    CF4
    Prozessgas 3
    N2
    Prozessgas 4
    O2
    Prozessgas 5
    -
    Prozessgas 6
    -
    Temperatursensoren
    9
    Arbeitsplattengröße [mm (inch)]
    470 x 470 (18.50 x 18.50)
    Mehr Details
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    Merkliste

PLASMA-SYSTEME

Halbleiterbauelemente sind für Produkte unseres täglichen Lebens unverzichtbar geworden. Niemand möchte sich eine Zukunft ohne sie vorstellen. Die Herstellung dieser Geräte erfordert jedoch hoch entwickelte Anlagen und tiefgreifendes Prozesswissen – und mit fortschreitender Technologie steigen die Herausforderungen an Plasma und an die Steuerung von plasmaunterstützten Anwendungen.

Wir arbeiten eng mit Kunden und Forschungseinrichtungen zusammen, um den Markt zu verstehen und Ihnen optimale Mikrowellen-Lösungen zu bieten – dabei gehen wir über herkömmliche Plasmaansätze hinaus, um Produkte zu entwickeln, die Ihre Ergebnisse und Prozesse entscheidend verbessern. Unsere führende Position als Hersteller von mikrowellen-unterstützten Plasmaprodukten hilft Ihnen, mit maßgeschneiderten Anlagen schneller und kostengünstiger in den Markt einzusteigen:

  • SU-8 Entfernung
  • Hochselektive Entfernung von organischen Materialien
  • Nicht-oxidierende Chemie zur Reinigung von sauerstoffempfindlichen Materialien (H2-Prozess)
  • Reinigung von 3D-Strukturen
  • Beschädigungsfreie Reinigung von empfindlichen Oberflächen (z.B. Sensoren)
  • Isotrope Kammerreinigung
  • LIGA-Verfahren (Lithographie, Galvanik und Formgebung)