Muegge Produkte
Plasma-Komponenten
-
Atmosphärische-Plasma-QuelleArtikelnr.: MA075KA-019BF
Atmosphärische-Plasma-Quelle
-
Atmosphärische-Plasma-QuelleArtikelnr.: MA6000A-013BB
Atmosphärische-Plasma-Quelle
-
Down-Streem-Plasma-QuelleArtikelnr.: MA010KD-013BF
Down-Streem-Plasma-Quelle
-
Down-Streem-Plasma-QuelleArtikelnr.: MA100KD-013BF
Down-Streem-Plasma-Quelle
-
FlächenplasmaquelleArtikelnr.: MA4000Y-013BC
Flächenplasmaquelle
-
FlächenplasmaquelleArtikelnr.: MA4000Y-073BC
Flächenplasmaquelle
-
FlächenplasmaquelleArtikelnr.: MA4000Y-083BC
Flächenplasmaquelle
-
FlächenplasmaquelleArtikelnr.: MA4000Y-093BC
Flächenplasmaquelle
PLASMA-KOMPONENTEN
Die Halbleitertechnologie hat unser Weltbild verändert – aber die Plasmabearbeitung ermöglichte es, Produkte für alle zu produzieren. Hochdichte mikrowellen-unterstützte Plasmaquellen performen überlegen in Ätz- und Beschichtungsanlagen, die hohe Etching-Raten ohne elektrische Aufladung oder Beschädigung des Materials erfordern.
Unsere Führungsrolle als Hersteller von Plasmakomponenten hilft Ihnen, Ihre Anlagen zu entwickeln und anzupassen – bei gleichzeitig schnellem Markteintritt und niedrigem CoO. Im Rahmen unserer “schlüsselfertigen” Produktpalette bieten wir Plasmakomponenten für eine Vielzahl von unterschiedlichen Fertigungswerkzeugen und Anwendungen an:
- Hochdichte Abscheidung von Oxid- und Nitridschichten
- Großflächiges Abscheiden und Ätzen
- SU-8 Entfernung
- Hochselektive Entfernung von organischen Materialien
- Nicht-oxidierende Chemie zur Reinigung von sauerstoffempfindlichen Materialien (H2-Prozess)
- Beschädigungsfreie Reinigung von empfindlichen Oberflächen (z.B. Sensoren) und 3D-Strukturen
- Isotrope Kammerreinigung
- LIGA-Verfahren (Lithographie, Galvanik und Formgebung)
