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Systèmes plasma

Systèmes plasma
  • Outil de décapsulation

    Artikelnr.: MA1250D-114BB

    Type of tool
    R&D / Outil de production échelle pilote
    Line Voltage [V]
    480
    Process gas 1
    O2
    Process gas 2
    CF4
    Process gas 3
    N2
    Process gas 4
    –
    Process gas 5
    –
    Process gas 6
    –
    Product Temperature sensors
    –
    Chamber size [mm (inch)]
    245 x 245 (9.65 x 9.65)
    Mehr Details
  • Outil de décapsulation

    Artikelnr.: MA3000D-211BB

    Type of tool
    Outil de production industrielle
    Line Voltage [V]
    400
    Process gas 1
    O2
    Process gas 2
    O2
    Process gas 3
    N2
    Process gas 4
    CF4
    Process gas 5
    SF6
    Process gas 6
    Ar
    Product Temperature sensors
    –
    Chamber size [mm (inch)]
    320 x 320 (12.60 x 12.60)
    Mehr Details
  • Outil de décapsulation

    Artikelnr.: MA3000D-241BB

    Type of tool
    Outil de production industrielle
    Line Voltage [V]
    400
    Process gas 1
    O2
    Process gas 2
    O2
    Process gas 3
    CF4
    Process gas 4
    N2H2
    Process gas 5
    SF6
    Process gas 6
    N2
    Product Temperature sensors
    –
    Chamber size [mm (inch)]
    320 x 320 (12.60 x 12.60)
    Mehr Details
  • Outil de décapsulation

    Artikelnr.: MA3000D-281BB

    Type of tool
    Outil de production industrielle
    Line Voltage [V]
    400
    Process gas 1
    O2
    Process gas 2
    N2H2
    Process gas 3
    CF4
    Process gas 4
    N2
    Process gas 5
    –
    Process gas 6
    –
    Product Temperature sensors
    –
    Chamber size [mm (inch)]
    320 x 320 (12.60 x 12.60)
    Mehr Details
  • Outil de décapsulation

    Artikelnr.: MA3000D-311BB

    Type of tool
    Outil de production industrielle
    Line Voltage [V]
    400
    Process gas 1
    O2
    Process gas 2
    O2
    Process gas 3
    N2
    Process gas 4
    Ar
    Process gas 5
    CF4
    Process gas 6
    SF6
    Product Temperature sensors
    –
    Chamber size [mm (inch)]
    320 x 320 (12.60 x 12.60)
    Mehr Details
  • Outil de dégainage 

    Artikelnr.: MA0000D-001BB

    Type of tool
    R&D / Outil de production échelle pilote
    Line Voltage [V]
    208
    Process gas 1
    O2
    Process gas 2
    N2
    Process gas 3
    N2
    Process gas 4
    –
    Process gas 5
    –
    Process gas 6
    –
    Product Temperature sensors
    2
    Chamber size [mm (inch)]
    245 x 245 (9.65 x 9.65)
    Mehr Details
  • Outil de dégainage 

    Artikelnr.: MA1250D-110BB

    Type of tool
    R&D / Outil de production échelle pilote
    Line Voltage [V]
    208
    Process gas 1
    O2
    Process gas 2
    N2
    Process gas 3
    N2
    Process gas 4
    –
    Process gas 5
    –
    Process gas 6
    –
    Product Temperature sensors
    2
    Chamber size [mm (inch)]
    245 x 245 (9.65 x 9.65)
    Mehr Details
  • Outil de dégainage 

    Artikelnr.: MA1250D-112BB

    Type of tool
    R&D / Outil de production échelle pilote
    Line Voltage [V]
    400
    Process gas 1
    O2
    Process gas 2
    CF4
    Process gas 3
    N2
    Process gas 4
    –
    Process gas 5
    –
    Process gas 6
    –
    Product Temperature sensors
    2
    Chamber size [mm (inch)]
    245 x 245 (9.65 x 9.65)
    Mehr Details

SYSTÈMES PLASMA
Les produits à base de semi-conducteurs sont indispensables dans notre vie quotidienne. Un avenir sans eux est inimaginable. Cependant, la production de ces composants nécessite un équipement spécialisé et des connaissances approfondies. Avec les progrès de la technologie, les systèmes plasma et leur contrôle sont confrontés à de nouveaux défis.

Nous travaillons en étroite collaboration avec les clients et les instituts de recherche pour comprendre le marché et vous proposer des solutions micro-ondes optimales – nous allons au-delà des approches plasma conventionnelles pour développer des produits qui améliorent considérablement vos résultats et vos procédés. Notre position de leader en tant que fabricant de produits plasma assisté par micro-ondes vous aide à entrer sur le marché plus rapidement et de manière plus rentable avec les systèmes sur mesure:

Retrait de SU-8
Retrait hautement sélective des matières organiques
Chimie non oxydante pour le nettoyage des matériaux sensibles à l’oxygène (procédé H2)
Nettoyage de structures 3D
Nettoyage ultrafin à haute efficacité des surfaces sensibles (par ex. Capteurs)
Nettoyage de la chambre isotrope
Procédé LIGA (lithographie, galvanoplastie et moulage)