Muegge Produits

Systèmes plasma

Systèmes plasma
  • Outil de décapsulation

    Numéro de poste: MA1250D-114BB

    Type d\'outil
    R&D / Outil de production échelle pilote
    Tension secteur [V]
    480
    Type de gaz utilisé 1
    O2
    Type de gaz utilisé 1
    CF4
    Type de gaz utilisé 3
    N2
    Type de gaz utilisé 4
    Type de gaz utilisé 5
    Type de gaz utilisé 6
    Capteurs de température
    2
    Dimensions chambre [mm (pouces)]
    245 x 245 (9.65 x 9.65)
  • Outil de décapsulation

    Numéro de poste: MA3000D-211BB

    Type d\'outil
    Outil de production industrielle
    Tension secteur [V]
    400
    Type de gaz utilisé 1
    O2
    Type de gaz utilisé 1
    O2
    Type de gaz utilisé 3
    N2
    Type de gaz utilisé 4
    CF4
    Type de gaz utilisé 5
    SF6
    Type de gaz utilisé 6
    Ar
    Capteurs de température
    Dimensions chambre [mm (pouces)]
    320 x 320 (12.60 x 12.60)
  • Outil de décapsulation

    Numéro de poste: MA3000D-241BB

    Type d\'outil
    Outil de production industrielle
    Tension secteur [V]
    400
    Type de gaz utilisé 1
    O2
    Type de gaz utilisé 1
    O2
    Type de gaz utilisé 3
    CF4
    Type de gaz utilisé 4
    N2H2
    Type de gaz utilisé 5
    SF6
    Type de gaz utilisé 6
    N2
    Capteurs de température
    Dimensions chambre [mm (pouces)]
    320 x 320 (12.60 x 12.60)
  • Outil de décapsulation

    Numéro de poste: MA3000D-281BB

    Type d\'outil
    Outil de production industrielle
    Tension secteur [V]
    400
    Type de gaz utilisé 1
    O2
    Type de gaz utilisé 1
    N2H2
    Type de gaz utilisé 3
    CF4
    Type de gaz utilisé 4
    N2
    Type de gaz utilisé 5
    Type de gaz utilisé 6
    Capteurs de température
    Dimensions chambre [mm (pouces)]
    320 x 320 (12.60 x 12.60)
  • Outil de décapsulation

    Numéro de poste: MA3000D-311BB

    Type d\'outil
    Outil de production industrielle
    Tension secteur [V]
    400
    Type de gaz utilisé 1
    O2
    Type de gaz utilisé 1
    O2
    Type de gaz utilisé 3
    N2
    Type de gaz utilisé 4
    Ar
    Type de gaz utilisé 5
    CF4
    Type de gaz utilisé 6
    SF6
    Capteurs de température
    Dimensions chambre [mm (pouces)]
    320 x 320 (12.60 x 12.60)
  • Outil de dégainage 

    Numéro de poste: MA1250D-112BB

    Type d\'outil
    R&D / Outil de production échelle pilote
    Tension secteur [V]
    400
    Type de gaz utilisé 1
    O2
    Type de gaz utilisé 1
    CF4
    Type de gaz utilisé 3
    N2
    Type de gaz utilisé 4
    Type de gaz utilisé 5
    Type de gaz utilisé 6
    Capteurs de température
    2
    Dimensions chambre [mm (pouces)]
    245 x 245 (9.65 x 9.65)
  • Outil de dégainage 

    Numéro de poste: MA1250D-115BB

    Type d\'outil
    R&D / Outil de production échelle pilote
    Tension secteur [V]
    208
    Type de gaz utilisé 1
    O2
    Type de gaz utilisé 1
    CF4
    Type de gaz utilisé 3
    N2
    Type de gaz utilisé 4
    Type de gaz utilisé 5
    Type de gaz utilisé 6
    Capteurs de température
    2
    Dimensions chambre [mm (pouces)]
    245 x 245 (9.65 x 9.65)
  • Outil de dégainage 

    Numéro de poste: MA1250D-117BB

    Type d\'outil
    R&D / Outil de production échelle pilote
    Tension secteur [V]
    400
    Type de gaz utilisé 1
    O2
    Type de gaz utilisé 1
    N2
    Type de gaz utilisé 3
    CF4
    Type de gaz utilisé 4
    Type de gaz utilisé 5
    Type de gaz utilisé 6
    Capteurs de température
    2
    Dimensions chambre [mm (pouces)]
    245 x 245 (9.65 x 9.65)

SYSTÈMES PLASMA
Les produits à base de semi-conducteurs sont indispensables dans notre vie quotidienne. Un avenir sans eux est inimaginable. Cependant, la production de ces composants nécessite un équipement spécialisé et des connaissances approfondies. Avec les progrès de la technologie, les systèmes plasma et leur contrôle sont confrontés à de nouveaux défis.

Nous travaillons en étroite collaboration avec les clients et les instituts de recherche pour comprendre le marché et vous proposer des solutions micro-ondes optimales – nous allons au-delà des approches plasma conventionnelles pour développer des produits qui améliorent considérablement vos résultats et vos procédés. Notre position de leader en tant que fabricant de produits plasma assisté par micro-ondes vous aide à entrer sur le marché plus rapidement et de manière plus rentable avec les systèmes sur mesure:

Retrait de SU-8
Retrait hautement sélective des matières organiques
Chimie non oxydante pour le nettoyage des matériaux sensibles à l’oxygène (procédé H2)
Nettoyage de structures 3D
Nettoyage ultrafin à haute efficacité des surfaces sensibles (par ex. Capteurs)
Nettoyage de la chambre isotrope
Procédé LIGA (lithographie, galvanoplastie et moulage)