Muegge Produkte
Plasma systems
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Decapsulation-Tool
Artikelnr.: MA1250D-114BB
도구유형R&D / Pilot Production Tool주전원 전압 [V]480공정 가스 1O2공정 가스 2CF4공정 가스 3N2공정 가스 4–공정 가스 5–공정 가스 6–온도 센서–챔버 크기[mm(인치)]245 x 245 (9.65 x 9.65) -
Decapsulation-Tool
Artikelnr.: MA3000D-211BB
도구유형High Volume Production Tool주전원 전압 [V]400공정 가스 1O2공정 가스 2O2공정 가스 3N2공정 가스 4CF4공정 가스 5SF6공정 가스 6Ar온도 센서–챔버 크기[mm(인치)]320 x 320 (12.60 x 12.60) -
Decapsulation-Tool
Artikelnr.: MA3000D-241BB
도구유형High Volume Production Tool주전원 전압 [V]400공정 가스 1O2공정 가스 2O2공정 가스 3CF4공정 가스 4N2H2공정 가스 5SF6공정 가스 6N2온도 센서–챔버 크기[mm(인치)]320 x 320 (12.60 x 12.60) -
Decapsulation-Tool
Artikelnr.: MA3000D-281BB
도구유형High Volume Production Tool주전원 전압 [V]400공정 가스 1O2공정 가스 2N2H2공정 가스 3CF4공정 가스 4N2공정 가스 5–공정 가스 6–온도 센서–챔버 크기[mm(인치)]320 x 320 (12.60 x 12.60) -
Decapsulation-Tool
Artikelnr.: MA3000D-311BB
도구유형High Volume Production Tool주전원 전압 [V]400공정 가스 1O2공정 가스 2O2공정 가스 3N2공정 가스 4Ar공정 가스 5CF4공정 가스 6SF6온도 센서–챔버 크기[mm(인치)]320 x 320 (12.60 x 12.60) -
Stripping-Tool
Artikelnr.: MA0000D-001BB
도구유형R&D / Pilot Production Tool주전원 전압 [V]208공정 가스 1O2공정 가스 2N2공정 가스 3N2공정 가스 4–공정 가스 5–공정 가스 6–온도 센서2챔버 크기[mm(인치)]245 x 245 (9.65 x 9.65) -
Stripping-Tool
Artikelnr.: MA1250D-110BB
도구유형R&D / Pilot Production Tool주전원 전압 [V]208공정 가스 1O2공정 가스 2N2공정 가스 3N2공정 가스 4–공정 가스 5–공정 가스 6–온도 센서2챔버 크기[mm(인치)]245 x 245 (9.65 x 9.65) -
Stripping-Tool
Artikelnr.: MA1250D-112BB
도구유형R&D / Pilot Production Tool주전원 전압 [V]400공정 가스 1O2공정 가스 2CF4공정 가스 3N2공정 가스 4–공정 가스 5–공정 가스 6–온도 센서2챔버 크기[mm(인치)]245 x 245 (9.65 x 9.65)
PLASMA SYSTEMS
Semiconductor components have become indispensable for products of our daily life. Nobody wants to imagine a future without them. However, the manufacture of these devices requires highly sophisticated equipment and in-depth process knowledge – and as technology advances, the challenges for plasma and for the control of plasma-assisted applications are increasing.
We work closely with customers and research institutes to understand the market and provide you with optimal microwave solutions – going beyond conventional plasma approaches to develop products that will significantly improve your results and processes. Our leading position as a manufacturer of microwave-assisted plasma products helps you to enter the market faster and more cost-effectively with customized systems:
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- SU-8 removal
- Highly selective removal of organic materials
- Non-oxidizing chemistry for cleaning of oxygen sensitive materials (H2 process)
- Cleaning of 3D structures
- Damage-free cleaning of sensitive surfaces (e.g. sensors)
- Isotropic chamber cleaning
- LIGA process (lithography, electroplating and shaping)