Muegge Produkte

플라즈마 시스템

플라즈마 시스템
  • 캡슐화 장비

    Artikelnr.: MA1250D-114BB

    Type of tool
    R&D /파일럿 생산 장비
    Line Voltage [V]
    480
    Process gas 1
    O2
    Process gas 2
    CF4
    Process gas 3
    N2
    Process gas 4
    -
    Process gas 5
    -
    Process gas 6
    -
    Product Temperature sensors
    -
    Chamber size [mm (inch)]
    245 x 245 (9.65 x 9.65)
    Mehr Details
  • 캡슐화 장비

    Artikelnr.: MA3000D-211BB

    Type of tool
    양산용 장비
    Line Voltage [V]
    400
    Process gas 1
    O2
    Process gas 2
    O2
    Process gas 3
    N2
    Process gas 4
    CF4
    Process gas 5
    SF6
    Process gas 6
    Ar
    Product Temperature sensors
    -
    Chamber size [mm (inch)]
    320 x 320 (12.60 x 12.60)
    Mehr Details
  • 캡슐화 장비

    Artikelnr.: MA3000D-241BB

    Type of tool
    양산용 장비
    Line Voltage [V]
    400
    Process gas 1
    O2
    Process gas 2
    O2
    Process gas 3
    CF4
    Process gas 4
    N2H2
    Process gas 5
    SF6
    Process gas 6
    N2
    Product Temperature sensors
    -
    Chamber size [mm (inch)]
    320 x 320 (12.60 x 12.60)
    Mehr Details
  • 캡슐화 장비

    Artikelnr.: MA3000D-281BB

    Type of tool
    양산용 장비
    Line Voltage [V]
    400
    Process gas 1
    O2
    Process gas 2
    N2H2
    Process gas 3
    CF4
    Process gas 4
    N2
    Process gas 5
    -
    Process gas 6
    -
    Product Temperature sensors
    -
    Chamber size [mm (inch)]
    320 x 320 (12.60 x 12.60)
    Mehr Details
  • 캡슐화 장비

    Artikelnr.: MA3000D-311BB

    Type of tool
    양산용 장비
    Line Voltage [V]
    400
    Process gas 1
    O2
    Process gas 2
    O2
    Process gas 3
    N2
    Process gas 4
    Ar
    Process gas 5
    CF4
    Process gas 6
    SF6
    Product Temperature sensors
    -
    Chamber size [mm (inch)]
    320 x 320 (12.60 x 12.60)
    Mehr Details
  • placeholder-muegge
    스트리핑 장비

    Artikelnr.: MA0000D-001BB

    Type of tool
    R&D /파일럿 생산 장비
    Line Voltage [V]
    208
    Process gas 1
    O2
    Process gas 2
    N2
    Process gas 3
    N2
    Process gas 4
    -
    Process gas 5
    -
    Process gas 6
    -
    Product Temperature sensors
    2
    Chamber size [mm (inch)]
    245 x 245 (9.65 x 9.65)
    Mehr Details
  • placeholder-muegge
    스트리핑 장비

    Artikelnr.: MA1250D-110BB

    Type of tool
    R&D /파일럿 생산 장비
    Line Voltage [V]
    208
    Process gas 1
    O2
    Process gas 2
    N2
    Process gas 3
    N2
    Process gas 4
    -
    Process gas 5
    -
    Process gas 6
    -
    Product Temperature sensors
    2
    Chamber size [mm (inch)]
    245 x 245 (9.65 x 9.65)
    Mehr Details
  • 스트리핑 장비

    Artikelnr.: MA1250D-112BB

    Type of tool
    R&D /파일럿 생산 장비
    Line Voltage [V]
    400
    Process gas 1
    O2
    Process gas 2
    CF4
    Process gas 3
    N2
    Process gas 4
    -
    Process gas 5
    -
    Process gas 6
    -
    Product Temperature sensors
    2
    Chamber size [mm (inch)]
    245 x 245 (9.65 x 9.65)
    Mehr Details

플라즈마 시스템
반도체 장치는 일상 생활에서 필수적인 제품입니다. 반도체없는 미래는 상상할 수 없습니다. 그러나 이러한 구성 요소를 생산하려면 특수 장비와 깊은 지식이 필요합니다. 첨단 기술로 인해 플라즈마 시스템 및 플라즈마 기반 애플리케이션의 공정 제어는 새로운 도전에 직면하고 있습니다.

당사는 시장을 이해하고 최고의 마이크로웨이브 솔루션을 제공하기 위해 고객 및 연구 기관과 긴밀히 협력합니다. 당사는 기존의 플라즈마 접근 방식을 뛰어 넘어 고객의 공정과 결과를 더욱 발전시키는 제품을 개발하기 위해 노력합니다. 마이크로웨이브 지원 플라즈마 제품 생산 분야에서 당사의 선도적인 위치는 최저 구매 비용의 맞춤형 시스템으로 시장에 더 빨리 접근할 수 있도록 도와줍니다.

“SU-8 제거
유기물의 선택적인 제거
산소에 민감한 물질 세척용 비 산화 화학 (H2 공정)
3D 구조 세척
민감한 표면 (예: 센서)을 손상 없이 세척
등방성 챔버 세척
LIGA 공정 (리소그래피, 전기 도금 및 성형)