| Art | |
|---|---|
| Bauart | |
| Netzspannung [V] | |
| Prozessgas 1 | |
| Prozessgas 2 | |
| Prozessgas 3 | |
| Prozessgas 4 | |
| Prozessgas 5 | |
| Prozessgas 6 | |
| Temperatursensoren | |
| Arbeitsplattengröße [mm (inch)] |
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