Muegge Produkte
Plasma-Systeme
-
Stripping-ToolArtikelnr.: MA3000D-301BB
PLASMA-SYSTEME
Halbleiterbauelemente sind für Produkte unseres täglichen Lebens unverzichtbar geworden. Niemand möchte sich eine Zukunft ohne sie vorstellen. Die Herstellung dieser Geräte erfordert jedoch hoch entwickelte Anlagen und tiefgreifendes Prozesswissen – und mit fortschreitender Technologie steigen die Herausforderungen an Plasma und an die Steuerung von plasmaunterstützten Anwendungen.
Wir arbeiten eng mit Kunden und Forschungseinrichtungen zusammen, um den Markt zu verstehen und Ihnen optimale Mikrowellen-Lösungen zu bieten – dabei gehen wir über herkömmliche Plasmaansätze hinaus, um Produkte zu entwickeln, die Ihre Ergebnisse und Prozesse entscheidend verbessern. Unsere führende Position als Hersteller von mikrowellen-unterstützten Plasmaprodukten hilft Ihnen, mit maßgeschneiderten Anlagen schneller und kostengünstiger in den Markt einzusteigen:
- SU-8 Entfernung
- Hochselektive Entfernung von organischen Materialien
- Nicht-oxidierende Chemie zur Reinigung von sauerstoffempfindlichen Materialien (H2-Prozess)
- Reinigung von 3D-Strukturen
- Beschädigungsfreie Reinigung von empfindlichen Oberflächen (z.B. Sensoren)
- Isotrope Kammerreinigung
- LIGA-Verfahren (Lithographie, Galvanik und Formgebung)
