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Composants plasma

Composants plasma
  • Down-Streem-Plasma-Source

    Artikelnr.: MA010KD-013BF

    Process
    Transformation des Gaz/Matériaux
    Output Connection Type
    Autres
    Dielectric material
    -
    Output Power CW [W]
    10000
    Frequency [MHz]
    915
    Waveguide size
    WR975 / R9
    Reactor outlet
    -
    Mehr Details
  • Down-Streem-Plasma-Source

    Artikelnr.: MA100KD-013BF

    Process
    Transformation des Gaz/Matériaux
    Output Connection Type
    Autres
    Dielectric material
    -
    Output Power CW [W]
    100000
    Frequency [MHz]
    915
    Waveguide size
    WR975 / R9
    Reactor outlet
    -
    Mehr Details
  • Matrice de sources plasma (grande surface)

    Artikelnr.: MA4000Y-013BC

    Process
    Gravure et Dépôt (Revêtement)
    Output Connection Type
    Zone de Plasma 320 mm x 320 mm
    Dielectric material
    Céramique
    Output Power CW [W]
    2000
    Frequency [MHz]
    2450
    Gas manifold
    Simple

    Flächenplasmaquelle

    Mehr Details
  • Matrice de sources plasma (grande surface)

    Artikelnr.: MA4000Y-083BC

    Process
    Gravure et Dépôt (Revêtement)
    Output Connection Type
    Zone de Plasma 320 mm x 320 mm
    Dielectric material
    Céramique
    Output Power CW [W]
    3000
    Frequency [MHz]
    2450
    Gas manifold
    Simple

    Flächenplasmaquelle

    Mehr Details
  • Matrice de sources plasma (grande surface)

    Artikelnr.: MA4000Y-093BC

    Process
    Gravure et Dépôt (Revêtement)
    Output Connection Type
    Zone de Plasma 320 mm x 320 mm
    Dielectric material
    Céramique
    Output Power CW [W]
    2000
    Frequency [MHz]
    2450
    Gas manifold
    Simple

    Flächenplasmaquelle

    Mehr Details
  • Matrice de sources plasma (grande surface)

    Artikelnr.: MA4000Y-103BC

    Process
    Gravure et Dépôt (Revêtement)
    Output Connection Type
    Zone de Plasma 338 mm x 408 mm
    Dielectric material
    Céramique
    Output Power CW [W]
    2x 2000
    Frequency [MHz]
    2450
    Gas manifold
    Simple

    Flächenplasmaquelle

    Mehr Details
  • Matrice de sources plasma (grande surface)

    Artikelnr.: MA4000Y-123BC

    Process
    Gravure et Dépôt (Revêtement)
    Output Connection Type
    Zone de Plasma 320 mm x 320 mm
    Dielectric material
    Céramique
    Output Power CW [W]
    2000
    Frequency [MHz]
    2450
    Gas manifold
    Simple

    Flächenplasmaquelle

    Mehr Details
  • Matrice de sources plasma (grande surface)

    Artikelnr.: MA4000Y-153BC

    Process
    Gravure et Dépôt (Revêtement)
    Output Connection Type
    Zone de Plasma 320 mm x 320 mm
    Dielectric material
    Céramique
    Output Power CW [W]
    2000
    Frequency [MHz]
    2450
    Gas manifold
    Double

    Flächenplasmaquelle

    Mehr Details

COMPOSANTS PLASMA
La technologie des semi-conducteurs a changé notre vision du monde. Les traitements plasma ont permis de fabriquer des produits pour tous. Les sources de plasma micro-ondes à haute densité donnent de très hautes performances dans les systèmes de gravure et de revêtement qui nécessitent des taux de gravure élevés, sans charge électrique et sans endommagement du matériau.

Notre notre position de leader en tant que fabricant de composants plasma vous aidera à développer et à intégrer vos systèmes pour arriver à une entrée rapide sur le marché au coût de possession le plus bas. Notre gamme de composants plasma ‘clé en main’ comprennent des solutions pour une variété d’outils de fabrication et pour nombreux applications:

Dépôt haute densité de couches minces d’oxyde et de nitrure
Dépôt et gravure sur grandes surfaces
Retrait de SU-8
Retrait hautement sélective des matières organiques
Chimie non oxydante pour le nettoyage des matériaux sensibles à l’oxygène (procédé H2)
Nettoyage ultrafin à haute efficacité des surfaces sensibles (par ex. Capteurs) et structures 3D
Nettoyage des chambres isotropes
Procédé LIGA (lithographie, galvanoplastie et moulage)