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Composants plasma

Composants plasma
  • Source de plasma de la rue

    Numéro de poste: MA010KD-013BF

    Processus
    Transformation des Gaz/Matériaux
    Type de connexion de sortie
    Autres
    Matériau Diélectrique
    -
    Puissance de sortie [W]
    10000
    Fréquence [MHz]
    915
    Taille du guide d\'ondes
    WR975 / R9
    Réacteur Quantité de production
    -
  • Source de plasma de la rue

    Numéro de poste: MA100KD-013BF

    Processus
    Transformation des Gaz/Matériaux
    Type de connexion de sortie
    Autres
    Matériau Diélectrique
    -
    Puissance de sortie [W]
    100000
    Fréquence [MHz]
    915
    Taille du guide d\'ondes
    WR975 / R9
    Réacteur Quantité de production
    -
  • Matrice de sources plasma (grande surface)

    Numéro de poste: MA4000Y-013BC

    Processus
    Gravure et Dépôt (Revêtement)
    Type de connexion de sortie
    Zone de Plasma 320 mm x 320 mm
    Matériau Diélectrique
    Céramique
    Puissance de sortie [W]
    2000
    Fréquence [MHz]
    2450
    Système de distribution de gaz
    Simple

    Flächenplasmaquelle

  • Matrice de sources plasma (grande surface)

    Numéro de poste: MA4000Y-083BC

    Processus
    Gravure et Dépôt (Revêtement)
    Type de connexion de sortie
    Zone de Plasma 320 mm x 320 mm
    Matériau Diélectrique
    Céramique
    Puissance de sortie [W]
    3000
    Fréquence [MHz]
    2450
    Système de distribution de gaz
    Simple

    Flächenplasmaquelle

  • Matrice de sources plasma (grande surface)

    Numéro de poste: MA4000Y-093BC

    Processus
    Gravure et Dépôt (Revêtement)
    Type de connexion de sortie
    Zone de Plasma 320 mm x 320 mm
    Matériau Diélectrique
    Céramique
    Puissance de sortie [W]
    2000
    Fréquence [MHz]
    2450
    Système de distribution de gaz
    Simple

    Flächenplasmaquelle

  • Matrice de sources plasma (grande surface)

    Numéro de poste: MA4000Y-103BC

    Processus
    Gravure et Dépôt (Revêtement)
    Type de connexion de sortie
    Zone de Plasma 338 mm x 408 mm
    Matériau Diélectrique
    Céramique
    Puissance de sortie [W]
    2x 2000
    Fréquence [MHz]
    2450
    Système de distribution de gaz
    Simple

    Flächenplasmaquelle

  • Matrice de sources plasma (grande surface)

    Numéro de poste: MA4000Y-123BC

    Processus
    Gravure et Dépôt (Revêtement)
    Type de connexion de sortie
    Zone de Plasma 320 mm x 320 mm
    Matériau Diélectrique
    Céramique
    Puissance de sortie [W]
    2000
    Fréquence [MHz]
    2450
    Système de distribution de gaz
    Simple

    Flächenplasmaquelle

  • Matrice de sources plasma (grande surface)

    Numéro de poste: MA4000Y-153BC

    Processus
    Gravure et Dépôt (Revêtement)
    Type de connexion de sortie
    Zone de Plasma 320 mm x 320 mm
    Matériau Diélectrique
    Céramique
    Puissance de sortie [W]
    2000
    Fréquence [MHz]
    2450
    Système de distribution de gaz
    Double

    Flächenplasmaquelle

COMPOSANTS PLASMA
La technologie des semi-conducteurs a changé notre vision du monde. Les traitements plasma ont permis de fabriquer des produits pour tous. Les sources de plasma micro-ondes à haute densité donnent de très hautes performances dans les systèmes de gravure et de revêtement qui nécessitent des taux de gravure élevés, sans charge électrique et sans endommagement du matériau.

Notre notre position de leader en tant que fabricant de composants plasma vous aidera à développer et à intégrer vos systèmes pour arriver à une entrée rapide sur le marché au coût de possession le plus bas. Notre gamme de composants plasma ‘clé en main’ comprennent des solutions pour une variété d’outils de fabrication et pour nombreux applications:

Dépôt haute densité de couches minces d’oxyde et de nitrure
Dépôt et gravure sur grandes surfaces
Retrait de SU-8
Retrait hautement sélective des matières organiques
Chimie non oxydante pour le nettoyage des matériaux sensibles à l’oxygène (procédé H2)
Nettoyage ultrafin à haute efficacité des surfaces sensibles (par ex. Capteurs) et structures 3D
Nettoyage des chambres isotropes
Procédé LIGA (lithographie, galvanoplastie et moulage)