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许多机构正在发现,微波和等离子体技术能够加速和增强工艺以及提高效率。 作为全球领跑者,我们的专家从创新的源头向您直接提供信息。 “ MUEGGE Insights”为您打开理念的门户,去构建未来能源方案的基础。
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“能源到X”(Power-to-X)应用 MUEGGE的大气等离子体源视频
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“能源到X”(Power-to-X)应用 常压微波等离子体法去除工艺水中的有机残留
MUEGGE与弗劳恩霍夫环境、安全及能源技术研究所(弗劳恩霍夫UMSICHT)合作开发的热催化重整工艺(TCR®工艺)可用于生产替代天然气、热解碳和合成原油。TCR®工艺的副产品是工艺水。它被认为是废料,因为它被乙腈、乙酸、苯酚、吡啶和吡咯等有机化合物污染。为循环利用工艺水,有必要去除这些有机化合物。采用MUEGGE公司的常压微波等离子体炬[1],对工艺水进行了净化。 1. 用于工艺水净化的常压微波等离子体装置 在弗劳恩霍夫UMSICHT,采用MUEGGE公司的常压微波等离子体炬对工艺水进行回收处理,该常压等离子体炬在2.45 GHz下由压缩空气驱动(见图1)。在MUEGGE 2.45 GHz等离子体炬中加入工艺水并随之由文氏管喷嘴注入,然后注入旋转压缩空气,在压缩空气流[2]中形成微小的工艺水液滴。加压气流中工艺水的液滴越小,高能常压等离子体中有机化合物完全解离的概率越高。这种常压等离子体净化过程的完美结果,是有机化合物在与氢氧根和氧自由基解离和反应后,完全转化为水蒸气和二氧化碳。 图1:用于净化工艺水的常压微波等离子体装置。 如图2所示,通过2.45 GHz等离子体后,净化工艺水很容易通过淬火回收。 图2:用淬火法回收净化的工艺水。 在弗劳恩霍夫UMSICHT的实验中,以1升蒸馏水中各含16.81g醋酸和8.74g乙醇的溶液替代有机化合物,验证了常压微波空气等离子体对污染工艺水的净化效率。 2. 用乙醇溶液进行等离子净化试验的结果 首先,将8.74 g乙醇溶于1升蒸馏水中的测试溶液注入压缩空气中,并以130升/分钟的流速馈入常压微波等离子体中,相当于测试溶液的流速约为65毫升/分钟。在弗劳恩霍夫UMSICHT获得的结果表明,经过功率为2 kW的常压等离子体处理后,蒸馏水中乙醇溶解的比例降低了92%。 3. 用乙酸溶液进行等离子净化试验结果 随后,将16.81 g醋酸溶于1升蒸馏水的测试溶液注入到压缩空气中,并以130升/分钟的流速馈入常压微波等离子体中,相当于测试溶液的流速约为65毫升/分钟。测定蒸馏水中乙酸的溶解含量显示,经过同样2千瓦微波功率的常压等离子体处理后,乙酸的含量减少了88%。 4. 结论:常压微波等离子体对工艺水进行了成功且高效的净化 采用2 kW的低微波功率常压空气等离子体,将蒸馏水中的乙醇减少92%、乙酸减少88%,这一实验结果对于TCR®工艺中工艺水的高效净化,具有很好的前景。提高微波功率(例如75 …
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“能源到X”(Power-to-X)应用 / 微波技术 助力零排放:双等离子线提升燃料电池的性能和效率
等离子技术如何应对燃料电池性能下降的挑战 离聚物膜燃料电池对于零排放汽车等应用非常重要。在直接甲醇燃料电池(DMFC)中,量产膜(例如Nafion)的主要缺点是其甲醇的渗透率相对较大,这会导致燃料电池效率急剧下降。图8为DMFC的原理图。对这种膜进行等离子表面处理,可以降低其对甲醇的渗透性。此外,等离子表面处理可以显著提高膜与催化剂的结合力。 图1:直接甲醇燃料电池(DMFC)原理图[8-9]。 1. 等离子技术改善水分管理问题 多孔气体扩散层(GDL)是燃料电池的另一个重要组成部分。它为催化剂提供均质气流,并控制电池内的水分。特别在大范围的电压/电流极化曲线上的水分管理,对燃料电池效率非常重要。然而由于适当水分管理的重要性,GDL主要由一种强疏水性材料制成。但是部分亲水性的GDL是更好的选择,因为它可以在燃料电池中保留适量的水分。 图2:在气体扩散层(GDL)的全疏水表面上,经微波等离子处理的部位显示了亲水性(低压微波等离子处理后,粘附在这些亲水性部位的水滴)[9-10]。 通过氮等离子体工艺中对GDL进行表面处理,能够实现GDL的部分亲水性。将GDL用带孔板遮盖进行等离子体处理,GDL表面的未被遮盖区域会被改性。因此受到处理后的GDL表面的未遮盖区显示出亲水性(水滴粘附在这些区域上-图2),而GDL表面的覆盖部分则保留其初始亲水性。 2. 验证结果:燃料电池性能表现更高 与未经等离子处理GDL燃料电池相比,经过等离子处理的GDL燃料电池能提供明显更高的电压。因为未经等离子处理的GDL燃料电池的膜是干的,尤其在更高的电流密度下。而等离子体处理过GDL在使用时,电池中可以保留一定的水分,从而提高了燃料电池性能。 等离子技术可在很多方面提升性能。请联系我们,了解我们怎样为您的挑战定制或标准化我们的系统——让我们为您的创新加油。     参考资料 [1]          M. Walker, K.-M. Baumgärtner, M. Kaiser, J. Kerres, A. …
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“能源到X”(Power-to-X)应用 / 微波技术 光伏应用采用双等离子线的充分理由
双等离子线如何为不断增长的市场开辟新天地 在我们的规模上,太阳能仍是一种几乎取之不尽的能源,没有地理限制,尽管它是间断性的。然而,光伏发电一直有其局限性。在表面涂层的反射质量、更经济的太阳能电池板制造方面,仍有改进的余地。此外,当今的快节奏创新对关乎的应用的光伏设计,提出了前所未有的要求。由于双等离子线在表面处理上的独特性能,如您希望比以往更高效的创新,它将是革命性的技术。原因有三: 1. 原因一:优化反射效应 硅太阳能电池的光电转换效率取决于最小化的反射损耗和表面复合度。应用等离子体聚合的SiN薄膜来改善这两种特性——反射效应。比如通过调整减反射涂层的折射率和表面性质,以避免表面复合。 在产生均匀的等离子体方面,MUEGGE的双等离子线技术表现卓著。结合等离子阵列,它适合连续和批式工艺。双等离子线和等离子阵列都能进行高效的热敏感材料表面处理,因为低压下的非平衡微波等离子体的离子能量最低,自由基密度高。 图1:由六个双等离子线构成的等离子体阵列集成于一个工艺腔中,用于低压等离子体沉积太阳能电池制造中的薄膜(德国Meyer Burger公司提供)。 光伏的氮化硅薄膜这些特性至关重要:硬度和化学电阻率是其关键特性。因此,SiN既可以用作绝缘体,也可用作许多工业应用的阻挡层材料。 “这种高度稳定的等离子体工艺为更经济的生产打开了大门,也为不断增长的市场设计光伏应用,提供了全新的可能。” 2. 理由二:让大规模生产更有利可图 如果光伏设备价格能大幅降低——比如生产规模化——则将更有利可图。太阳能薄膜电池的规模化生产中极具意义。玻璃板是CIGS薄膜太阳能组件的最先进基板。它们可以用薄金属箔代替,以降低重量和材料成本。用低压微波等离子体工艺沉积在金属板和CIGS太阳能组件顶部光学层上的聚合物薄膜,代替沉重的玻璃基板和玻璃镀膜。 3. 理由三:以更大的灵活性进入新市场 标准CIGS太阳能组件由单片连接的太阳能电池组成。因此,金属箔必须绝缘。此外,必须设置扩散屏障,防止金属箔的材料杂质和污染物扩散到CIGS中。用薄金属箔作为基底材料的优点是模块的柔性,适合移动应用和可穿戴设备。 图2:柔性金属箔上的单片连接CIGS太阳能组件,中间有等离子沉积扩散层[5-7]。 4. 超越极限:等离子工艺助能您的创新 等离子体沉积聚合物薄膜扩散屏工艺,使经济生产柔性光伏组件的新技术成为可能。此外,等离子体工艺还可用于沉积薄膜非晶硅(a-Si)太阳能电池和微晶硅(µc-Si)太阳能电池,从而将等离子体技术引入新的重要市场。 想了解我们的等离子系统如何帮您将想法变为新产品和进入新市场?请联系我们,让我们为您的项目加把力。 参考文献 [1]          H. Schlemm, …
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“能源到X”(Power-to-X)应用 / 微波技术 明天的电池技术:得力于双等离子线系统
创新的等离子系统如何在锂离子电池引入硅阳极 2007年,斯坦福研究人员发现了一种方案,来应对有关如何在电池中使用硅的挑战。通过使用新的纳米技术和方法,他们能将锂存储在微小的硅纳米线中。这些硅纳米线的尺度,比一张纸的厚度约薄一千倍。在吸收带正电的锂离子时,硅纳米线会膨胀,而它们的物理特性(尺寸和形状)会抑制硅的破碎和断裂。 1. 硅阳极提升锂离子电池性能 由于上述原因,硅被广泛认为是未来阳极技术的首选材料。电池制造商和汽车制造商都希望利用其理论上的高充电容量优势。已经证明,相比当今商业化的基于碳阳极的电池,硅阳极电池单位体积和单位重量的能量明显更高。 图 5:采用低压微波等离子体沉积技术,纯硅阳极硅柱的三维生长 [3] 依靠双等离子线技术的制造设备,进行三维多孔硅层的等离子体增强化学气相沉积 (PECVD),具有生产硅纳米线阳极的巨大潜力。图5为采用低压微波等离子体沉积技术进行的纯硅阳极进行三维生长的硅柱。 2. 双等离子线可实现均匀且敏感的表面处理 低压非平衡微波等离子体所产生的高密度自由基,具有低离子能量,使得双等离子线和等离子阵列的组合能够对热敏材料进行高效表面处理。等离子体仅由微波激发,即没有其他磁场的影响。对于大批量的高精度均匀表面处理以及需敏感处理的材料,能够轻松的比例扩容。 感兴趣吗?您想了解这项技术的详细原理吗?请阅读关于双等离子线技术的深度文章。(链接到第1篇) 如您想了解更多如何使您的产品线受益于双等离子线技术,以及 MUEGGE如何为您定制这项技术,请随时与我们联系。 参考文献: [3]          Applying Solar Technology for Pure Silicon Anodes: …
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“能源到X”(Power-to-X)应用 / 半导体 / 微波技术 用于绿色技术的“双等离子线(DUO-PLASMALINE)”:始终先人一步的产能
双等离子线(DUO-PLASMALINE)系统如何助力您的可持续能源应用 人人都愿在一个更健康的星球上生活!各行业的创新者都在致力于更可持续的明天。在绿色技术的效率、质量和可扩容性等诸多方面,仍有改进的空间——特别是有关零排放汽车电池和柔性光伏板的技术。 Muegge公司的基于微波驱动的双等离子线(DUO-PLASMALINE)系统,应用于可持续能源生产/储存领域的表面处理和改性,提高了创新者们的竞争力。 想了解这项技术的原委,这篇专家评论将告诉您,双等离子线(DUO-PLASMALINE)系统如何实现了高自由基密度、大面积处理区上的等离子体高度均质性、以及升级的便利性。 1. 均质等离子体的产生:其他系统做不到 微波等离子体在低压条件下的激发,基于微波电场内自由电子的加速。理想状态下,气体电离一旦形成,电子就会相互碰撞、与中性粒子和带电物质碰撞,产生雪崩效应,从而形成等离子体。真空腔体工作压力是该过程一个重要参数:低压下,加速自由电子的平均自由行程,明显小于真空腔体的尺寸,并形成了非平衡等离子体,其特点是常温环境下的中性粒子、离子和由“热”加速的自由电子。当真空腔体内的压力进一步降低,使自由电子的平均自由行程与真空腔体尺寸相当时,自由电子与真空腔壁的碰撞概率显著增加,从而抑制对生成和保持等离子体至关重要的雪崩效应。 “错误的降压/增压方式,可能会抑制等离子体的生成与保持。” 另一方面,增压将把能量转移到中性粒子和离子等重粒子,致使等离子体逐渐热化。因此,等离子体的整体温度升高。另一方面,如果微波能量恒定但粒子密度增加,比如气体流量增加,则激发能量将不足以保持等离子体。 在恒定压力下电子密度的增加,将会抑制微波传播。在所谓的临界密度下,微波不再能穿透等离子体并被反射,此时的等离子体的作用就是一个导电壁。 注: 临界密度与电磁波频率的平方成正比。 2. 提高产能和轻松升级的解决之道——双等离子线(DUO-PLASMALINE) 基于上述原理,很多微波等离子体源的构想,就是把微波等离子体典型的高自由基密度这一高效优势利用起来。然而,由于特定的驻波模式的形成、以及微波的真空波长可能会与待处理材料的几何尺寸相同,这可能导致基板表面的等离子体处理不均匀。为处理大面积基板,微波等离子体源的比例放大是一个挑战。双等离子线(DUO-PLASMALINE)这种微波等离子源,以及基于多个双等离子线(DUO-PLASMALINE)的等离子阵列,完美应对了这个挑战。 3. 提高您的产品质量——产生均质等离子的双等离子线(DUO-PLASMALINE) 双等离子线(DUO-PLASMALINE)是一种低压微波等离子体源。等离子体仅由微波激发,即没有其他磁场影响。简言之,双等离子线是一种由微波激发的反向荧光管:沿着真空腔体安装同轴线,即由从相对两端的微波供电的导电材料,形成微波能传输线(天线)。在真空腔体内,外部同轴导体由玻璃、石英或陶瓷制成的介电管代替。介电管的内部为常压,而外部,即真空腔体则处于低压,最好在 10 帕和 1000 帕之间。微波可通过介电管、传播到低压区的真空腔内。当微波场强超过击穿场强时,在双等离子线两端、其外部同轴导体被介电管所取代的低压区会引发放电。双等离子线两端形成的短等离子“管”是导电介质,替代了缺位的外部同轴导体功能。增加微波功率,等离子体则从两端沿介质管延伸,直到形成轴向均匀的等离子体——见图1。 图 1:在双等离子线低压微波等离子体源周围形成的轴向均匀等离子体 [1] …
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微波技术 数字烹饪——烹饪的数字化
一代又一代,健康、健美、营养和环境对于我们的社会越来越重要。 微波如何适应我们这个变化的世界? 几乎每家每户都有微波炉。便利性是无法否认的。但是,尽管微波炉广泛使用,而且安全记录良好,但是对微波的态度仍是两极分化,有些人认为微波在某种程度上是不健康的,因为在加热过程中营养可能会流失。 微波烹饪真的不健康吗? 我们来澄清一下。 这儿有什么  微波炉实际上是如何工作的?  微波炉烹饪食物有害吗?  维生素在微波中有何变化?  微波的工业应用  探索:电磁波  数字烹饪——烹饪的数字化 联系 1.微波炉实际上是如何工作的? 微波得名于微波辐射,一种加热食物的高频电磁辐射。微波主要激励食物中的水分子移动,食物被产生的摩擦能加热。食物本身未受到任何辐射;这是一种热效应。 微波炉的金属外壳,使辐射被屏蔽在设备内部,因此外部(如果有的话)只能测量极低的泄漏辐射。微波炉严格遵守辐射限制要求,设备和使用是完全无害的。 移动通讯和WLAN也使用辐射频率,但功率低得多。 重要提示:只要安全措施得当,没有证据表明微波炉有害健康或有危险。 微波炉产生电磁辐射。 你可能会觉得不安,因为“辐射”一词的负面含义。然而,它不是与核反应或X射线那类的辐射。 微波炉产生的非电离辐射与手机辐射类似,但强度更高,但被屏蔽在金属腔中。 请记住可见光也是电磁辐射。没有光就没有生命,并非所有的辐射都是有害的。 注:微波在分子水平上加热食物。微波被归类为非电离辐射。它们对物质、生物组织和食物没有“放射性”影响。   2. …
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微波技术 Energy estimation for drying materials with microwaves
Customers interested in industrial microwave systems understandably need to know exactly how much energy they need for their specific application. Depending on whether it’s cooking …
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“能源到X”(Power-to-X)应用 常压微波等离子体技术–高温和“能源到X”(Power-to-X)应用
MUEGGE的微波等离子体炬是微波激发的等离子体源,设计于常压下工作,产生非接触等离子体,在2.45 GHz和915 MHz的微波功率下,确保稳定运行于宽范围的气体种类和流量。 MUEGGE的微波等离子炬非常适合于特殊气体合成、并有助于高反应性气体的化学反应。这是很多”能源到X”(Power-to-X)应用的关键,如”能源到气体”(Power-to-Gas)和“能源到化学”(Power-to-Chemicals)。 您所期待的是什么   常压等离子体?   针对所有应用领域的广泛服务   “能源到X”(Power-to-X)在工业和研究中的应用   电燃气燃烧器,温度> 1400°C,不使用化学燃料。   结论 1. 常压等离子体? 物理学中,技术性等离子体被描述为物质的第四种聚集态,它由离子、电子、其他种类的激发气体和高反应性电荷载流子组成。由于在高度电离的情况下几乎完全达到局部热平衡,因此常压微波等离子体是技术性等离子体的一种特殊形式。与其他等离子体系统相比,微波等离子体产生于非接触式腔谐振器中,且不因等离子体与载热气体间的接触而引起载能电极的烧尽或介质污染。等离子炬可测量到高达3500 K的气体温度——由光发射光谱法确定。   2. 针对所有应用领域的广泛服务 MUEGGE的新一代微波头,可以构建紧凑的常压等离子源,用于表面和体积处理工艺。 常压等离子源(APS)可在2.45 GHz和915 …
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人工钻石生长 / 半导体 / 微机电系统 去除黑碳和有机残留物
返工和去除碳基材料–不仅仅是半导体制造商面对的挑战 碳基材料的沉积在半导体工业中起着重要作用。 没有相应的光刻胶,就无法进行光刻。 碳基材料的无残渣清洗一直是、未来也是一种挑战。随着行业向先进材料的发展——如低k材料,碳掺杂的氧化物,类金刚石碳(DLC),金刚石——挑战将越来越大。 随着沉积金刚石和实验室生长金刚石市场的持续增长,拥有合适的工具清除残留的黑碳而不损坏金刚石结构至关重要。 微波等离子体–各向同性清洁意味着轻柔高效的清洁 RF-等离子体的固有性质,使基底暴露于与等离子体能量相互作用之中。离子朝基板加速,导致物理损伤并污染要清洁的材料。去除钻石上的黑碳时,微小的RF偏压就会损坏晶体结构,因此导致不可逆的变色。相反,微波辅助等离子体系统能够快速、高效地清洁,且不会对基板造成影响。1  使用MUEGGE的微波辅助等离子体系统,转移到基板的能量极低,没有离子释放到工艺腔中。结果,基板保持不变,起到作用的清洁机制是与黑碳或其他碳基残留物的化学反应。由于该反应是纯各向同性的,因此无需将残留物直接暴露于等离子体,这对于任何3D结构(如MEMS或MMS)极为有利。   1 Amorn THEDSAKHULWONG和Warawoot THOWLADDA。 金属,材料和矿物杂志。 Vol.18 No.2 pp.137-141,2008年 MUEGGE的解决方案– STP产品系列 MUEGGE STP Tools -微波辅助等离子体有效利用能量,形成高反应性中性粒子——自由基。 没有离子释放到工艺腔中,不会造成衬底的损坏或污染。 因此,微波辅助远程等离子体系统非常适合去除钻石或DLC上的黑碳。 …
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人工钻石生长 / 半导体 / 微机电系统 / 微波技术 / 汽车工业 微波(等离子)工艺中的反射功率
“反射功率,是指微波功率中未被耦合到工艺中并返回到发生器的那部分功率。在微波工艺中,它是用于评估微波能量转移到材料中的效率的重要参数。本文将介绍反射功率值的含义,哪些参数会影响微波的反射以及如何最小化反射功率。 微波等离子体系统的优点之一是,与RF(射频)等离子体系统不同,反射功率不会造成任何直接损害,并可用于工艺优化。 微波(等离子)系统的说明 在下面的示例中,采用大气燃烧器模型来描述典型的微波等离子体系统。 图1:微波系统的功能模型,包括(1)微波发生器; (2)隔离器; (3)3销钉调谐器; (4)大气燃烧器(代表任意一种应用) 由高压电源(通常是开关电源)驱动的微波发生器通过磁控管产生微波功率;在图1中,频率为2.45 GHz。 隔离器是一个两端口设备,允许微波功率通过微波发生器传输到负载,但如果反射功率发生,则不能返回到磁控管/发生器。它最常见的用途是保护磁控管免受反射功率可能产生的破坏性作用。在隔离器的入口处,反射功率(通常是由吸收微波能力差的负载产生)被转移到完美匹配的水负载并吸收,作为热量散发到循环水中。 三销钉调谐器是一个可选组件,通过使磁控管的阻抗与负载(例如,等离子)的阻抗相匹配,从而为系统提供更宽的工艺窗。对于动态大的工艺,自动调谐器很有用。但是,如果工艺参数变化很小,即对于微波耦合是稳定的,则从工艺之初就可以永久匹配阻抗。在这种情况下,可以通过独立的、固定的调整元件进行匹配。 常压等离子源(APS)代表的负载 阻抗不匹配导致的反射功率 根本原因 当等离子系统的组件(即微波发生器和等离子源)匹配不正确时,总会产生反射功率。在微波工艺中,波导几何形状改变、传输线路几何形状(同轴导体,直波导等)改变会造成匹配不正确。工艺腔中介电负载的变化也会导致匹配不正确。因此,微波耦合可以因工艺的材料、蒸汽、等离子体起辉、温度、压力等变化而变化,则需要调节阻抗匹配以减小反射功率。这些变化越突然,用单个匹配元件补偿不匹配的难度就越大。 所有这些效应都可以通过阻抗匹配来解释,并可通过史密斯图可视化。可以为发生器和负载分配(取决于频率)复合阻抗,并通过一个复合匹配网络进行匹配。匹配网络由理想的无电阻电感和电容构成。在图1的情形中,就是调谐器的三个调谐销钉,可调节其在波导中的不同深度。 对微波工艺的意义 由于有隔离器作为保护元件,对于微波应用中的硬件,产生反射功率并不是什么主要问题:反射功率被隔离器的水负载吸收并转化为热量,即便反射功率达到微波发生器功率的100%。 反射功率通常是在隔离器上测量,因此,使用者能计算出负载吸收了多少功率。 通常,微波工艺应在反射功率的最小值下运行,以便使工艺效率最大化。 对RF(射频)工艺的意义 微波频率相比,RF等离子在较低的频率下工作(如13.56 MHz对于2.45 GHz),因此在RF等离子工艺中无法使用隔离器,这样一来反射功率就变得至关重要。 …
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半导体 微波及腔室清洁
电介质沉积后的腔室清洁-各向同性微波等离子体应用案例 沉积是半导体生产的支柱之一,它取决于受控、可重复和清洁的环境。 沉积工艺的一个挑战是,沉积不但发生在基板上,而且发生在腔壁上。 微粒和脏污是一个持久的威胁。 因此,当临界尺寸在不断挑战物理极限时,对工艺腔室进行反复、彻底的清洁是确保沉积层质量的关键。 微波等离子体是从腔壁上去除这种厚沉积层的理想解决方案。 相比RF等离子体,微波(MW)等离子体的优势很不同:即使不直接暴露于等离子源,也可清洁腔壁,因为微波的独特性质。 微波等离子体——各向同性,快速清洁 进行腔室清洁时,其各向异性的RF等离子体并不理想。 离子轰击是RF等离子所固有的,因此,需清洁之物要直接暴露于离子源。 实际上,腔壁对离子源隐藏的部位会导致清洁不彻底、随后产生剥落、微粒和产能降低。 MW辅助等离子体清洁恰恰可以解决这一问题。自由基可到达腔室的隐藏和遮蔽部位,而RF离子源达不到这些部位。 Muegge远程微波等离子体解决这些问题 进行腔室清洁时,其各向异性的RF等离子体并不理想。 离子轰击是RF等离子所固有的,因此,需清洁之物要直接暴露于离子源。 实际上,腔壁对离子源隐藏的部位会导致清洁不彻底、随后产生剥落、微粒和产能降低。 MW辅助等离子体清洁恰恰可以解决这一问题。自由基可到达腔室的隐藏和遮蔽部位,而RF离子源达不到这些部位。 即使没有直接暴露于离子源,发生器中产生的自由基也会到达腔室并进行清洁。再没有不彻底的清洁,自由基可到达您腔室的边边角角。 直接裸露部位首先清洁,并保持避免进一步损害——与RF等离子体不同,RF等离子体的溅射会改变或损坏腔壁。 过蚀是安全的,因为清洗是化学性的。没有离子轰击,就不会损坏腔室和敏感设备(如电子卡盘)的干净部件。 Muegge的腔室清洁解决方案具有可持续性,并且节能。 所有能量都用于形成自由基,热负荷极小。 适用于广泛工艺 Muegge远程等离子清洁,适用于所有不用腐蚀性化学物的材料,如: 二氧化硅 …
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人工钻石生长 / 微波技术 实验室培育钻石之二:来自领先制造商的专业洞察
冲突钻石的替代品是实验室培育的无冲突钻石。 培育钻石在化学、物理、光学和视觉上与开采钻石别无二致。 在深入探讨中,您将了解微波怎样产生独具特色的高温气相等离子体,用于等离子钻石沉积工艺:源自工业微波技术领域的世界顶级供应商,采用先进技术,来自世界顶级供应商和工业微波技术领域专家的先进技术: MUEGGE。 成功的前提:微波能 对于培育钻石,微波能量的高频耦合能产生具有较低的鞘层电势的高密度等离子体,从而实现温和但高效的工艺。 MUEGGE生产的微波系统用于产生人造钻石应用的等离子体。 用于研发和生产的交钥匙CVD金刚石系统,工作频率2.45 GHz和915 MHz,功率6至100 kW。 工业微波系统通常使用各种标准或定制的波导器件来传送微波能,每种器件有其特定且必要的功能。   单个组件通常有几种不同的类型和波导尺寸,提供不同性能特征,以适用于特定加热应用。根据工艺的需求,它们可以按不同的配置的任何一种进行组合。结果,向系统设计人员提供了许多通常难以选择的组件和配置。 第二要素:为您选择合适的系统和器件 我们的专家很乐意就您的项目所需的特殊性质提供协助和咨询。我们的工程师深入理解工业工艺和需求,能使用最先进的3D可视化工具模拟和开发原型机。 成功的第三步:开关电源技术占尽优势 MUEGGE微波发生器通常包括一个开关电源。 开关电源(SMPS)是一种电子电源,其中的开关调节器可非常高效地转换电能。 高转换效率是开关电源的重要优势,并且还大幅减少设备的整体尺寸和重量。 MUEGGE的开关电源有多种选项可供配置,使它们成为可定制潜力最高的选择,是大多数工业微波加热应用的理想电源。 第四部分:紧凑的微波头 Muegge的MH系列微波头具有各种输出功率和配置样式。主要特点是设计紧凑、标准波导、同轴输出法兰、水冷。MH系列还有多种选项,如集成隔离器、反射式HR输出功率测量和电弧监测。 强大的人工钻石工艺的理想配置 MUEGGE微波发生器具有出色的输出功率稳定度,以及对非共形网格不稳定性影响的超强耐受性,这使MUEGGE微波发生器成为钻石沉积等长时工艺的首选。 …
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人工钻石生长 / 微波技术 实验室钻石种植之一:为什么它们胜过常规宝石
它们像开采的宝石一样闪闪发光,看起来像“真正的”钻石,但有一个关键的区别:宝石开采在世界上一些地区,可能存在践踏人权的不道德行为,而实验室生长或人造钻石不存在支持这一行为的风险。 一个决定性因素是:消费者在不断要求公司提高透明度,一起所谓的“血腥钻石”案则会导致其声名狼藉。 未来派的微波技术,将使“无冲突钻石”行业茁壮生长、熠熠发光。 什么是“冲突钻石”? 冲突或血汗钻石被非法交易,助长了饱受战争蹂躏地区的冲突。 冲突钻石被联合国界定为“源自与合法和国际认可之政府相对立的军队/力量所掌控地区,并被利用于资助反对这些政府的军事行动、或违反安理会决议的行为。 ” 目前,在世界上销售的每4颗钻石中,有一颗是血汗钻石。 血汗钻石的替代品是实验室种植的无冲突钻石。 实验室生长的钻石在化学、物理、光学和视觉上与开采的钻石完全相同。 人工钻石之美 人造钻石,也称工程钻石或培育钻石,采用先进的微波等离子体工艺,在高度控制的实验室环境中生长。该工艺产生的条件,使钻石可从激发的气相中生长出来,质量如同在地壳之下的地幔中形成一样。 人造钻石由真正的碳原子依照钻石晶体结构特征排列而成。 它们与天然钻石的材质完全相同,因此具有相同的光学和化学性质,是抵制冲突钻石的绝佳替代品。 Source: https://newgrowndiamond.com/blog/why-de-beers-play-an-important-role-in-lab-grown-diamonds-industries 人造钻石:如何做出? 通过化学气相沉积工艺生长钻石。将微小的钻石碎片(钻石种子)放在硅片上,然后通过等离子加热。 等离子体是物质的第四态,可以认为是很高温的气体。 实际上,如此之热,以至于分子和原子不再是气相中的唯一存在,而是一种含有离子和电子、自由基和反应性物,彼此浑浊的“汤”。   由氢和碳所组成的等离子体,或者会溶解钻石种子,或者会创造出一个能使钻石种子长成更大钻石的环境。 如果此过程出错,最终得到的只是石墨,而不是您要的闪闪发光的钻石。 可控工艺,无需高压 1980年代,化学气相沉积法(CVD)面世,不再需要高压。 …
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半导体 / 微机电系统 / 微波技术 / 汽车工业 3D模拟:简化组件开发流程
开发热加工设备时,原型机的测试和多次重复会耗费大量时间和资源。 3D仿真技术使您可以加快原型设计期、及时实施调整,同时提供详细而全面的视野以优化您的微波应用。了解我们在MUEGGE使用的原型机虚拟工具,为您的项目助力。 为您的项目选择理想的仿真方法 无需进行复杂的样品生产,3D仿真工具能够逼真而准确的展示您的功率需求、应用端尺寸和阻抗匹配。然而不是任何一种工具和方法对任何人都有用。为节省时间并获得最佳结果,请向专家咨询,分析您的微波产品材料特性,提出最适合您项目目标的仿真和分析变量。 采用高性能3D分析以实现最大速度和精度 不要在微波仿真工具的质量上打折扣:性能低劣的服务器结构或过时的系统,会让您从这项技术中获取的优势荡然无存。通过使用高性能的3D电磁分析软件,可以以最短的时间、最高的精度执行诸如3D设计、EM分析或优化电磁组件之类的工作。 MUEGGE的仿真可能性涵盖了广泛的应用领域,例如从简单的波导组件耦合分析,到复杂多模应用中场强分布的完整仿真,一应俱全。 可视化:从柔性纳米结构到工业混合应用 分析整个带有高频电路中分立元件的PCB板 高速(> 200um / h)完全去除光刻胶 高选择性,不改变底层 更多独到之处 图01:带有可变同轴过渡和WR975模式转换器的垂直功率分配器 利用混合仿真 通过结合单个应用器,获得用于放大工艺和扩充产能的综合数据。 这些混合仿真使您能以有效且简单的方式,来分析和虚拟化高频能量和附加电磁影响系统的复杂作用。这对于确定天线系统的效率因子或谐振器的加热性能至关重要。 图片02:带有可调同轴阻抗耦合器的4倍高功率组合器 采用3D过滤器结构作为EMV和员工安全的基础 得益于3D-HF结构仿真,可重复设计频率适配的微波滤波器系统,使应用设备在低泄漏、半开式连续运行。 通过对锁定结构进行连续的空间优化,我们能始终对微波或混合技术加热的多种应用的EMV阈值进行连续观察。 3D模拟:减少时间,提高质量 …
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微波技术 / 汽车工业 微波-混合-硫化的主要优点
快速、高效、灵活。 多年前,微波和微波混合应用给高性能硫化工艺设计带来了革命。优势非常明显:您会迅速达到较高的硫化温度,从而大大减少暴露时间。 经由3D模拟计算而优化的微波天线精确设计,能够大大提高硫化工艺的效率。刷新和深化您对这种高效硫化技术的了解,做掌控这一制胜法宝的资深微波应用专家。 任意横截面上的同质核心温度 微波和微波-混合-应用非常适合合成橡胶和橡胶聚合物的加热和硫化,因为这些聚合物能很好地吸收电磁波。典型的聚合物,如EPDM(乙丙二烯单体橡胶),NBR(丁腈橡胶)或SBR(丁苯橡胶)在10°C至170°C的宽范围内,几乎能完全吸收2.45 GHz和915 MHz的微波能。也可通过微波附加加热来更快地达到较高的硫化温度,形成不同的应用和工艺,从而大幅减少暴露时间。 基于3D仿真的天线和通道设计 微波注入天线的设计,对加热通道中所期望的能量分布至关重要。对应这一目标,应尽力关注剖面和剖面区域,使能量尽可能均匀充满整个腔体,用以加工高孔泡沫和海绵橡胶产品。对于微波系统的各个天线的定位和对准,至关重要的是通道横截面的整个尺寸,以及内壁和传送系统的特性。在设计加热区域时采用3D模拟计算,我们沿传送方向、或材料横截面、以及微波天线的类型,优化出辐射的理想几何分布。同时,通过将微波耦合设计为同轴天线、缝隙波导或喇叭形天线,可考虑高密度剖面区采用例如PPP(聚对苯撑)或金属集成镶嵌结构。 所有功率范围的微波发生器 天线系统的微波能量,由一些带开关电源的、可自动调节的微波发生器提供,单个微波源功率从1000W至15 kW。 结合6 kW以上的高能微波源和无损功率分配器,可以将多个天线连接成天线阵列,从而在大跨度工艺隧道区域内实现同相能量耦合。这种受控的能量供应,打造出具有微波源之间最小的交叉耦合的加热通道结构,从而使微波能量的利用率最大化。 根据需求,量身定制硫化方案 无论您是需要一条新的能量均匀分布、高度灵活的硫化通道,还是需要低损耗反射系统来改善现有通道设置的效率,微波技术都可为您提供最优解。 …
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