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陶瓷

陶瓷
  • 等离子阵列（大面积）

    货号: MA6000Y-033BC

    流程
    蚀刻和沉积（涂层)
    输出连接方式
    等离子区 520 mm x 340 mm
     介电材料
    陶瓷
    供电电压[V]
    –
    输出功率 [W]
    2x 3000
    Frequency [MHz]
    2450
    气体歧管
    双
    波导尺寸
    同轴
    电抗器输出量
    ø20 mm x 1,5 mm x 564 mm

    Flächenplasmaquelle

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  • 自由基等离子源（远程等离子源）

    货号: MA1250C-003BC

    流程
    蚀刻和沉积（涂层)
    输出连接方式
    ISO-K63
     介电材料
    陶瓷
    供电电压[V]
    230 / 208
    输出功率 [W]
    1250
    Frequency [MHz]
    2450
    气体歧管
    –
    电抗器输出量
    -

    Radikalquelle (Remote-Plasma-Quelle)

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  • 自由基等离子源（远程等离子源）

    货号: MA2000C-083BB

    流程
    蚀刻和沉积（涂层)
    输出连接方式
    KF40
     介电材料
    陶瓷
    供电电压[V]
    230 / 208
    输出功率 [W]
    2000
    Frequency [MHz]
    2450

    Radikalquelle (Remote-Plasma-Quelle)

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  • 自由基等离子源（远程等离子源）

    货号: MA2000C-123BB

    流程
    蚀刻和沉积（涂层)
    输出连接方式
    KF40
     介电材料
    陶瓷
    供电电压[V]
    230 / 208
    输出功率 [W]
    2000
    Frequency [MHz]
    2450

    Radikalquelle (Remote-Plasma-Quelle)

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  • 自由基等离子源（远程等离子源）

    货号: MA2000C-133BB

    流程
    蚀刻和沉积（涂层)
    输出连接方式
    ISO-K63
     介电材料
    陶瓷
    供电电压[V]
    230 / 208
    输出功率 [W]
    2000
    Frequency [MHz]
    2450

    Radikalquelle (Remote-Plasma-Quelle)

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  • 自由基等离子源（远程等离子源）

    货号: MA2000C-223BB

    流程
    蚀刻和沉积（涂层)
    输出连接方式
    KF40
     介电材料
    陶瓷
    供电电压[V]
    230 / 208
    输出功率 [W]
    2000
    Frequency [MHz]
    2450

    Radikalquelle (Remote-Plasma-Quelle)

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  • 自由基等离子源（远程等离子源）

    货号: MA2000C-233BB

    流程
    蚀刻和沉积（涂层)
    输出连接方式
    ISO-K63
     介电材料
    陶瓷
    供电电压[V]
    230 / 208
    输出功率 [W]
    2000
    Frequency [MHz]
    2450

    Radikalquelle (Remote-Plasma-Quelle)

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  • 自由基等离子源（远程等离子源）

    货号: MA2000C-703BB

    流程
    蚀刻和沉积（涂层)
    输出连接方式
    KF40
     介电材料
    陶瓷
    供电电压[V]
    230 / 208
    输出功率 [W]
    2000
    Frequency [MHz]
    2450

    Radikalquelle (Remote-Plasma-Quelle)

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