Muegge Produkte
Keramik
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Flächenplasmaquelle
Artikelnr.: MA4000Y-013BC
ProzessÄtzen & Abscheiden (Beschichten)AuskoppelgrößePlasmafläche 320 mm x 320 mmMaterial DielektrikumKeramikLeistung [W]2000Frequenz [Mhz]2450GasduscheEinfachFlächenplasmaquelle
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Flächenplasmaquelle
Artikelnr.: MA4000Y-083BC
ProzessÄtzen & Abscheiden (Beschichten)AuskoppelgrößePlasmafläche 320 mm x 320 mmMaterial DielektrikumKeramikLeistung [W]3000Frequenz [Mhz]2450GasduscheEinfachFlächenplasmaquelle
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Flächenplasmaquelle
Artikelnr.: MA4000Y-093BC
ProzessÄtzen & Abscheiden (Beschichten)AuskoppelgrößePlasmafläche 320 mm x 320 mmMaterial DielektrikumKeramikLeistung [W]2000Frequenz [Mhz]2450GasduscheEinfachFlächenplasmaquelle
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Flächenplasmaquelle
Artikelnr.: MA4000Y-103BC
ProzessÄtzen & Abscheiden (Beschichten)AuskoppelgrößePlasmafläche 338 mm x 408 mmMaterial DielektrikumKeramikLeistung [W]2x 2000Frequenz [Mhz]2450GasduscheEinfachFlächenplasmaquelle
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Flächenplasmaquelle
Artikelnr.: MA4000Y-123BC
ProzessÄtzen & Abscheiden (Beschichten)AuskoppelgrößePlasmafläche 320 mm x 320 mmMaterial DielektrikumKeramikLeistung [W]2000Frequenz [Mhz]2450GasduscheEinfachFlächenplasmaquelle
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Flächenplasmaquelle
Artikelnr.: MA4000Y-153BC
ProzessÄtzen & Abscheiden (Beschichten)AuskoppelgrößePlasmafläche 320 mm x 320 mmMaterial DielektrikumKeramikLeistung [W]2000Frequenz [Mhz]2450GasduscheZweifachFlächenplasmaquelle
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Flächenplasmaquelle
Artikelnr.: MA6000Y-013BC
ProzessÄtzen & Abscheiden (Beschichten)AuskoppelgrößePlasmafläche 700 mm x 226 mmMaterial DielektrikumKeramikLeistung [W]2x 3000Frequenz [Mhz]2450GasduscheZweifachFlächenplasmaquelle
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Flächenplasmaquelle
Artikelnr.: MA6000Y-023BC
ProzessÄtzen & Abscheiden (Beschichten)AuskoppelgrößePlasmafläche 797,5 mm x 150 mmMaterial DielektrikumKeramikLeistung [W]2x 3000Frequenz [Mhz]2450GasduscheZweifachFlächenplasmaquelle
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