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Keramik

Keramik
  • Flächenplasmaquelle

    Artikelnr.: MA4000Y-013BC

    Process
    Ätzen & Abscheiden (Beschichten)
    Output Connection Type
    Plasmafläche 320 mm x 320 mm
    Dielectric material
    Keramik
    Mains voltage nominal [V]
    -
    Output Power CW [W]
    2000
    Frequency [MHz]
    2450
    Gas manifold
    Einfach
    Waveguide size
    Coaxial
    Reactor outlet
    -

    Flächenplasmaquelle

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  • Flächenplasmaquelle

    Artikelnr.: MA4000Y-073BC

    Process
    Ätzen & Abscheiden (Beschichten)
    Output Connection Type
    Plasmafläche 338 mm x 408 mm
    Dielectric material
    Keramik
    Mains voltage nominal [V]
    -
    Output Power CW [W]
    2x 2000
    Frequency [MHz]
    2450
    Gas manifold
    Einfach
    Waveguide size
    Coaxial
    Reactor outlet
    -

    Flächenplasmaquelle

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  • Flächenplasmaquelle

    Artikelnr.: MA4000Y-083BC

    Process
    Ätzen & Abscheiden (Beschichten)
    Output Connection Type
    Plasmafläche 320 mm x 320 mm
    Dielectric material
    Keramik
    Output Power CW [W]
    3000
    Frequency [MHz]
    2450
    Gas manifold
    Einfach

    Flächenplasmaquelle

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  • Flächenplasmaquelle

    Artikelnr.: MA4000Y-093BC

    Process
    Ätzen & Abscheiden (Beschichten)
    Output Connection Type
    Plasmafläche 320 mm x 320 mm
    Dielectric material
    Keramik
    Output Power CW [W]
    2000
    Frequency [MHz]
    2450
    Gas manifold
    Einfach

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  • Flächenplasmaquelle

    Artikelnr.: MA4000Y-103BC

    Process
    Ätzen & Abscheiden (Beschichten)
    Output Connection Type
    Plasmafläche 338 mm x 408 mm
    Dielectric material
    Keramik
    Mains voltage nominal [V]
    -
    Output Power CW [W]
    2x 2000
    Frequency [MHz]
    2450
    Gas manifold
    Einfach

    Flächenplasmaquelle

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  • Flächenplasmaquelle

    Artikelnr.: MA4000Y-123BC

    Process
    Ätzen & Abscheiden (Beschichten)
    Output Connection Type
    Plasmafläche 320 mm x 320 mm
    Dielectric material
    Keramik
    Mains voltage nominal [V]
    -
    Output Power CW [W]
    2000
    Frequency [MHz]
    2450
    Gas manifold
    Einfach
    Waveguide size
    Coaxial
    Reactor outlet
    -

    Flächenplasmaquelle

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  • Flächenplasmaquelle

    Artikelnr.: MA4000Y-153BC

    Process
    Ätzen & Abscheiden (Beschichten)
    Output Connection Type
    Plasmafläche 320 mm x 320 mm
    Dielectric material
    Keramik
    Output Power CW [W]
    2000
    Frequency [MHz]
    2450
    Gas manifold
    Zweifach

    Flächenplasmaquelle

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  • Flächenplasmaquelle

    Artikelnr.: MA6000Y-013BC

    Process
    Ätzen & Abscheiden (Beschichten)
    Output Connection Type
    Plasmafläche 700 mm x 226 mm
    Dielectric material
    Keramik
    Output Power CW [W]
    2x 3000
    Frequency [MHz]
    2450
    Gas manifold
    Zweifach

    Flächenplasmaquelle

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