Muegge Produkte

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  • Flächenplasmaquelle

    Artikelnr.: MA4000Y-013BC

    Prozess
    Ätzen & Abscheiden (Beschichten)
    Auskoppelgröße
    Plasmafläche 320 mm x 320 mm
    Material Brennkammer
    Keramik
    Netzspannung Nominal [V]
    -
    Leistung [W]
    2000
    Frequenz [Mhz]
    2450
    Gasdusche
    Einfach

    Flächenplasmaquelle

  • Flächenplasmaquelle

    Artikelnr.: MA4000Y-083BC

    Prozess
    Ätzen & Abscheiden (Beschichten)
    Auskoppelgröße
    Plasmafläche 320 mm x 320 mm
    Material Brennkammer
    Keramik
    Netzspannung Nominal [V]
    -
    Leistung [W]
    3000
    Frequenz [Mhz]
    2450
    Gasdusche
    Einfach

    Flächenplasmaquelle

  • Flächenplasmaquelle

    Artikelnr.: MA4000Y-093BC

    Prozess
    Ätzen & Abscheiden (Beschichten)
    Auskoppelgröße
    Plasmafläche 320 mm x 320 mm
    Material Brennkammer
    Keramik
    Netzspannung Nominal [V]
    -
    Leistung [W]
    2000
    Frequenz [Mhz]
    2450
    Gasdusche
    Einfach

    Flächenplasmaquelle

  • Flächenplasmaquelle

    Artikelnr.: MA4000Y-103BC

    Prozess
    Ätzen & Abscheiden (Beschichten)
    Auskoppelgröße
    Plasmafläche 338 mm x 408 mm
    Material Brennkammer
    Keramik
    Netzspannung Nominal [V]
    -
    Leistung [W]
    2x 2000
    Frequenz [Mhz]
    2450
    Gasdusche
    Einfach

    Flächenplasmaquelle

  • Flächenplasmaquelle

    Artikelnr.: MA4000Y-123BC

    Prozess
    Ätzen & Abscheiden (Beschichten)
    Auskoppelgröße
    Plasmafläche 320 mm x 320 mm
    Material Brennkammer
    Keramik
    Netzspannung Nominal [V]
    -
    Leistung [W]
    2000
    Frequenz [Mhz]
    2450
    Gasdusche
    Einfach

    Flächenplasmaquelle

  • Flächenplasmaquelle

    Artikelnr.: MA4000Y-153BC

    Prozess
    Ätzen & Abscheiden (Beschichten)
    Auskoppelgröße
    Plasmafläche 320 mm x 320 mm
    Material Brennkammer
    Keramik
    Netzspannung Nominal [V]
    -
    Leistung [W]
    2000
    Frequenz [Mhz]
    2450
    Gasdusche
    Zweifach

    Flächenplasmaquelle

  • Flächenplasmaquelle

    Artikelnr.: MA6000Y-013BC

    Prozess
    Ätzen & Abscheiden (Beschichten)
    Auskoppelgröße
    Plasmafläche 700 mm x 226 mm
    Material Brennkammer
    Keramik
    Netzspannung Nominal [V]
    -
    Leistung [W]
    2x 3000
    Frequenz [Mhz]
    2450
    Gasdusche
    Zweifach

    Flächenplasmaquelle

  • Flächenplasmaquelle

    Artikelnr.: MA6000Y-023BC

    Prozess
    Ätzen & Abscheiden (Beschichten)
    Auskoppelgröße
    Plasmafläche 797,5 mm x 150 mm
    Material Brennkammer
    Keramik
    Netzspannung Nominal [V]
    -
    Leistung [W]
    2x 3000
    Frequenz [Mhz]
    2450
    Gasdusche
    Zweifach

    Flächenplasmaquelle