Muegge Produkte
High Volume Production Tool
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Decapsulation-Tool
Artikelnr.: MA3000D-211BB
도구유형High Volume Production Tool주전원 전압 [V]400공정 가스 1O2공정 가스 2O2공정 가스 3N2공정 가스 4CF4공정 가스 5SF6공정 가스 6Ar온도 센서–챔버 크기[mm(인치)]320 x 320 (12.60 x 12.60) -
Decapsulation-Tool
Artikelnr.: MA3000D-241BB
도구유형High Volume Production Tool주전원 전압 [V]400공정 가스 1O2공정 가스 2O2공정 가스 3CF4공정 가스 4N2H2공정 가스 5SF6공정 가스 6N2온도 센서–챔버 크기[mm(인치)]320 x 320 (12.60 x 12.60) -
Decapsulation-Tool
Artikelnr.: MA3000D-281BB
도구유형High Volume Production Tool주전원 전압 [V]400공정 가스 1O2공정 가스 2N2H2공정 가스 3CF4공정 가스 4N2공정 가스 5–공정 가스 6–온도 센서–챔버 크기[mm(인치)]320 x 320 (12.60 x 12.60) -
Decapsulation-Tool
Artikelnr.: MA3000D-311BB
도구유형High Volume Production Tool주전원 전압 [V]400공정 가스 1O2공정 가스 2O2공정 가스 3N2공정 가스 4Ar공정 가스 5CF4공정 가스 6SF6온도 센서–챔버 크기[mm(인치)]320 x 320 (12.60 x 12.60) -
Stripping-Tool
Artikelnr.: MA3000D-201BB
도구유형High Volume Production Tool주전원 전압 [V]400공정 가스 1O2공정 가스 2CF4공정 가스 3N2공정 가스 4O2공정 가스 5–공정 가스 6–온도 센서9챔버 크기[mm(인치)]470 x 470 (18.50 x 18.50) -
Stripping-Tool
Artikelnr.: MA3000D-221BB
도구유형High Volume Production Tool주전원 전압 [V]400공정 가스 1O2공정 가스 2CF4공정 가스 3N2공정 가스 4–공정 가스 5–공정 가스 6–온도 센서5챔버 크기[mm(인치)]470 x 470 (18.50 x 18.50) -
Stripping-Tool
Artikelnr.: MA3000D-251BB
도구유형High Volume Production Tool주전원 전압 [V]400공정 가스 1O2공정 가스 2CF4공정 가스 3N2공정 가스 4–공정 가스 5–공정 가스 6–온도 센서9챔버 크기[mm(인치)]470 x 470 (18.50 x 18.50) -
Stripping-Tool
Artikelnr.: MA3000D-271BB
도구유형High Volume Production Tool주전원 전압 [V]480공정 가스 1O2공정 가스 2CF4공정 가스 3N2공정 가스 4O2공정 가스 5–공정 가스 6–온도 센서9챔버 크기[mm(인치)]470 x 470 (18.50 x 18.50)