Muegge Produkte
에칭 및 증착
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플라즈마 어레이(대면적)
Artikelnr.: MA4000Y-013BC
Process에칭 및 증착Output Connection Type플라즈마 영역 320mm x 320mmDielectric material세라믹Output Power CW [W]2000Frequency [MHz]2450Gas manifold싱글Flächenplasmaquelle
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플라즈마 어레이(대면적)
Artikelnr.: MA4000Y-083BC
Process에칭 및 증착Output Connection Type플라즈마 영역 320mm x 320mmDielectric material세라믹Output Power CW [W]3000Frequency [MHz]2450Gas manifold싱글Flächenplasmaquelle
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플라즈마 어레이(대면적)
Artikelnr.: MA4000Y-093BC
Process에칭 및 증착Output Connection Type플라즈마 영역 320mm x 320mmDielectric material세라믹Output Power CW [W]2000Frequency [MHz]2450Gas manifold싱글Flächenplasmaquelle
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플라즈마 어레이(대면적)
Artikelnr.: MA4000Y-103BC
Process에칭 및 증착Output Connection Type플라즈마 영역 338 mm x 408 mmDielectric material세라믹Output Power CW [W]2x 2000Frequency [MHz]2450Gas manifold싱글Flächenplasmaquelle
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플라즈마 어레이(대면적)
Artikelnr.: MA4000Y-123BC
Process에칭 및 증착Output Connection Type플라즈마 영역 320mm x 320mmDielectric material세라믹Output Power CW [W]2000Frequency [MHz]2450Gas manifold싱글Flächenplasmaquelle
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플라즈마 어레이(대면적)
Artikelnr.: MA4000Y-153BC
Process에칭 및 증착Output Connection Type플라즈마 영역 320mm x 320mmDielectric material세라믹Output Power CW [W]2000Frequency [MHz]2450Gas manifold더블Flächenplasmaquelle
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플라즈마 어레이(대면적)
Artikelnr.: MA6000Y-013BC
Process에칭 및 증착Output Connection Type플라즈마 영역 700 mm x 226 mmDielectric material세라믹Output Power CW [W]2x 3000Frequency [MHz]2450Gas manifold더블Flächenplasmaquelle
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플라즈마 어레이(대면적)
Artikelnr.: MA6000Y-023BC
Process에칭 및 증착Output Connection Type플라즈마 영역 797,5 mm x 150 mmDielectric material세라믹Output Power CW [W]2x 3000Frequency [MHz]2450Gas manifold더블Flächenplasmaquelle