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플라즈마 영역 700 mm x 226 mm

플라즈마 영역 700 mm x 226 mm
  • 플라즈마 어레이(대면적)

    Artikelnr.: MA6000Y-013BC

    Process
    에칭 및 증착
    Output Connection Type
    플라즈마 영역 700 mm x 226 mm
    Dielectric material
    세라믹
    Output Power CW [W]
    2x 3000
    Frequency [MHz]
    2450
    Gas manifold
    더블

    Flächenplasmaquelle

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