MUEGGE 产品
蚀刻和沉积(涂层)
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等离子阵列(大面积)
项目编号: MA4000Y-013BC
流程蚀刻和沉积(涂层)输出连接方式等离子区 320 mm x 320 mm介电材料陶瓷输出功率 [W]2000频率 [MHz]2450气体歧管单Flächenplasmaquelle
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等离子阵列(大面积)
项目编号: MA4000Y-083BC
流程蚀刻和沉积(涂层)输出连接方式等离子区 320 mm x 320 mm介电材料陶瓷输出功率 [W]3000频率 [MHz]2450气体歧管单Flächenplasmaquelle
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等离子阵列(大面积)
项目编号: MA4000Y-093BC
流程蚀刻和沉积(涂层)输出连接方式等离子区 320 mm x 320 mm介电材料陶瓷输出功率 [W]2000频率 [MHz]2450气体歧管单Flächenplasmaquelle
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等离子阵列(大面积)
项目编号: MA4000Y-103BC
流程蚀刻和沉积(涂层)输出连接方式等离子区 338 mm x 408 mm介电材料陶瓷输出功率 [W]2x 2000频率 [MHz]2450气体歧管单Flächenplasmaquelle
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等离子阵列(大面积)
项目编号: MA4000Y-123BC
流程蚀刻和沉积(涂层)输出连接方式等离子区 320 mm x 320 mm介电材料陶瓷输出功率 [W]2000频率 [MHz]2450气体歧管单Flächenplasmaquelle
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等离子阵列(大面积)
项目编号: MA4000Y-153BC
流程蚀刻和沉积(涂层)输出连接方式等离子区 320 mm x 320 mm介电材料陶瓷输出功率 [W]2000频率 [MHz]2450气体歧管双Flächenplasmaquelle
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等离子阵列(大面积)
项目编号: MA6000Y-013BC
流程蚀刻和沉积(涂层)输出连接方式等离子区 700 mm x 226 mm介电材料陶瓷输出功率 [W]2x 3000频率 [MHz]2450气体歧管双Flächenplasmaquelle
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等离子阵列(大面积)
项目编号: MA6000Y-023BC
流程蚀刻和沉积(涂层)输出连接方式等离子区 797,5 mm x 150 mm介电材料陶瓷输出功率 [W]2x 3000频率 [MHz]2450气体歧管双Flächenplasmaquelle