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自由基等离子源（远程等离子源）
蚀刻和沉积（涂层)
KF 40
陶瓷
230 / 208
2000
2450
项目编号: MA2000C-903BB
项目编号: MA2000C-913BB
项目编号: MA2000C-863BB
项目编号: MA2000C-873BB
项目编号: MA2000C-793BB
项目编号: MA2000C-823BB
项目编号: MA2000C-753BB
项目编号: MA2000C-783BB
项目编号: MA2000C-703BB
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