Radikalquelle (Remote-Plasma-Quelle) - MA2000C-743BB - Muegge

联络

等离子系统

等离子组件

Back to Overview

自由基等离子源（远程等离子源） - MA2000C-743BB

Item number: MA2000C-743BB 等离子组件

下载数据表

其他信息

设备型号	自由基等离子源（远程等离子源）
流程	蚀刻和沉积（涂层)
输出连接方式	KF40
介电材料	陶瓷
供电电压[V]	230 / 208
输出功率 [W]	2000
Frequency [MHz]	2450

Related products

Atmospheric Plasma Source

货号: MA6000A-013BB

流程

气体/物料转换

输出连接方式

others

自由基等离子源（远程等离子源）

货号: MA2000C-913BB

流程

蚀刻和沉积（涂层)

输出连接方式

ISO-K63

自由基等离子源（远程等离子源）

货号: MA2000C-903BB

流程

蚀刻和沉积（涂层)

输出连接方式

KF40

自由基等离子源（远程等离子源）

货号: MA2000C-873BB

流程

蚀刻和沉积（涂层)

输出连接方式

ISO-K63

自由基等离子源（远程等离子源）

货号: MA2000C-863BB

流程

蚀刻和沉积（涂层)

输出连接方式

KF40

自由基等离子源（远程等离子源）

货号: MA2000C-823BB

流程

蚀刻和沉积（涂层)

输出连接方式

KF40

自由基等离子源（远程等离子源）

货号: MA2000C-793BB

流程

蚀刻和沉积（涂层)

输出连接方式

ISO-K63

自由基等离子源（远程等离子源）

货号: MA2000C-783BB

流程

蚀刻和沉积（涂层)

输出连接方式

KF40

自由基等离子源（远程等离子源）

货号: MA2000C-753BB

流程

蚀刻和沉积（涂层)

输出连接方式

ISO-K63