Muegge Produkte

单

单
  • 等离子阵列（大面积）

    Artikelnr.: MA4000Y-013BC

    Process
    蚀刻和沉积（涂层)
    Output Connection Type
    等离子区 320 mm x 320 mm
    Dielectric material
    陶瓷
    Mains voltage nominal [V]
    –
    Output Power CW [W]
    2000
    Frequency [MHz]
    2450
    Gas manifold
    单
    Waveguide size
    同轴
    Reactor outlet
    -

    Flächenplasmaquelle

    Mehr Details
  • 等离子阵列（大面积）

    Artikelnr.: MA4000Y-083BC

    Process
    蚀刻和沉积（涂层)
    Output Connection Type
    等离子区 320 mm x 320 mm
    Dielectric material
    陶瓷
    Output Power CW [W]
    3000
    Frequency [MHz]
    2450
    Gas manifold
    单

    Flächenplasmaquelle

    Mehr Details
  • 等离子阵列（大面积）

    Artikelnr.: MA4000Y-093BC

    Process
    蚀刻和沉积（涂层)
    Output Connection Type
    等离子区 320 mm x 320 mm
    Dielectric material
    陶瓷
    Output Power CW [W]
    2000
    Frequency [MHz]
    2450
    Gas manifold
    单

    Flächenplasmaquelle

    Mehr Details
  • 等离子阵列（大面积）

    Artikelnr.: MA4000Y-103BC

    Process
    蚀刻和沉积（涂层)
    Output Connection Type
    等离子区 338 mm x 408 mm
    Dielectric material
    陶瓷
    Mains voltage nominal [V]
    –
    Output Power CW [W]
    2x 2000
    Frequency [MHz]
    2450
    Gas manifold
    单

    Flächenplasmaquelle

    Mehr Details
  • 等离子阵列（大面积）

    Artikelnr.: MA4000Y-123BC

    Process
    蚀刻和沉积（涂层)
    Output Connection Type
    等离子区 320 mm x 320 mm
    Dielectric material
    陶瓷
    Mains voltage nominal [V]
    –
    Output Power CW [W]
    2000
    Frequency [MHz]
    2450
    Gas manifold
    单
    Waveguide size
    同轴
    Reactor outlet
    -

    Flächenplasmaquelle

    Mehr Details