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Von Experten

Viele Branchen entdecken die Mikrowellen- und Plasmatechnologie für sich - um Prozesse zu beschleunigen, zu präzisieren, energieeffizienter zu gestalten. Als weltweit führender Hersteller bewegen sich unsere Experten an der Quelle der Entwicklungen. Steigen Sie im MUEGGE Blog tiefer ein in die Materie aus der die Energielösungen der Zukunft bestehen.
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半导体 微波及腔室清洁
电介质沉积后的腔室清洁-各向同性微波等离子体应用案例 沉积是半导体生产的支柱之一,它取决于受控、可重复和清洁的 …
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半导体 / 微机电系统 / 微波技术 / 汽车工业 3D模拟:简化组件开发流程
开发热加工设备时,原型机的测试和多次重复会耗费大量时间和资源。 3D仿真技术使您可以加快原型设计期、及时实施调 …
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半导体 / 微机电系统 高剂量植入(HDIS)后除胶
高剂量植入除胶(HDIS) 高剂量植入后的光刻胶去除,仍是半导体工业最苛刻的工艺之一。 面临的挑战是在不烧外壳 …
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半导体 / 微机电系统 厚胶去除的终点控制
完全去除厚胶需要正确的终点检测 采用微波(MW)等离子体去除厚抗蚀剂时——如用于微机械和微机电系统(MEMS) …
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半导体 / 微机电系统 微机械和微机电的质量飞跃
去除互嵌的厚光刻胶–各项同性微波等离子体的一个案例 微波等离子体是去除厚光刻胶的理想方案,如微机械和微机电系统 …
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Der Fortschritt steckt im Detail. Informieren Sie sich über aktuelle Erkenntnisse und fortschrittliche Anwendungsentwicklungen in der Mikrowellen- und Plasmatechnologie - direkt von unseren Experten, zugeschnitten auf Ihre Prozessoptimierung.

Tel.: +49 (0) 6164 – 9307 – 0

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