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等离子区 338 mm x 408 mm

等离子区 338 mm x 408 mm
  • 等离子阵列(大面积)

    货号: MA4000Y-103BC

    流程
    蚀刻和沉积(涂层)
    输出连接方式
    等离子区 338 mm x 408 mm
     介电材料
    陶瓷
    供电电压[V]
    输出功率 [W]
    2x 2000
    Frequency [MHz]
    2450
    气体歧管

    Flächenplasmaquelle