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自由基等离子源（远程等离子源）

自由基等离子源（远程等离子源）
  • 自由基等离子源（远程等离子源）

    Artikelnr.: MA1250C-003BC

    Process
    蚀刻和沉积（涂层)
    Output Connection Type
    ISO-K63
    Dielectric material
    陶瓷
    Mains voltage nominal [V]
    230 / 208
    Output Power CW [W]
    1250
    Frequency [MHz]
    2450
    Gas manifold
    –
    Reactor outlet
    -

    Radikalquelle (Remote-Plasma-Quelle)

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  • 自由基等离子源（远程等离子源）

    Artikelnr.: MA2000C-083BB

    Process
    蚀刻和沉积（涂层)
    Output Connection Type
    KF40
    Dielectric material
    陶瓷
    Mains voltage nominal [V]
    230 / 208
    Output Power CW [W]
    2000
    Frequency [MHz]
    2450

    Radikalquelle (Remote-Plasma-Quelle)

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  • 自由基等离子源（远程等离子源）

    Artikelnr.: MA2000C-123BB

    Process
    蚀刻和沉积（涂层)
    Output Connection Type
    KF40
    Dielectric material
    陶瓷
    Mains voltage nominal [V]
    230 / 208
    Output Power CW [W]
    2000
    Frequency [MHz]
    2450

    Radikalquelle (Remote-Plasma-Quelle)

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  • 自由基等离子源（远程等离子源）

    Artikelnr.: MA2000C-133BB

    Process
    蚀刻和沉积（涂层)
    Output Connection Type
    ISO-K63
    Dielectric material
    陶瓷
    Mains voltage nominal [V]
    230 / 208
    Output Power CW [W]
    2000
    Frequency [MHz]
    2450

    Radikalquelle (Remote-Plasma-Quelle)

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  • 自由基等离子源（远程等离子源）

    Artikelnr.: MA2000C-143BB

    Process
    蚀刻和沉积（涂层)
    Output Connection Type
    ISO-K63
    Dielectric material
    蓝宝石
    Mains voltage nominal [V]
    230 / 208
    Output Power CW [W]
    2000
    Frequency [MHz]
    2450

    Radikalquelle (Remote-Plasma-Quelle)

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  • 自由基等离子源（远程等离子源）

    Artikelnr.: MA2000C-223BB

    Process
    蚀刻和沉积（涂层)
    Output Connection Type
    KF40
    Dielectric material
    陶瓷
    Mains voltage nominal [V]
    230 / 208
    Output Power CW [W]
    2000
    Frequency [MHz]
    2450

    Radikalquelle (Remote-Plasma-Quelle)

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  • 自由基等离子源（远程等离子源）

    Artikelnr.: MA2000C-233BB

    Process
    蚀刻和沉积（涂层)
    Output Connection Type
    ISO-K63
    Dielectric material
    陶瓷
    Mains voltage nominal [V]
    230 / 208
    Output Power CW [W]
    2000
    Frequency [MHz]
    2450

    Radikalquelle (Remote-Plasma-Quelle)

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  • 自由基等离子源（远程等离子源）

    Artikelnr.: MA2000C-703BB

    Process
    蚀刻和沉积（涂层)
    Output Connection Type
    KF40
    Dielectric material
    陶瓷
    Mains voltage nominal [V]
    230 / 208
    Output Power CW [W]
    2000
    Frequency [MHz]
    2450

    Radikalquelle (Remote-Plasma-Quelle)

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