Muegge Produkte
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Decapsulation-Tool
Artikelnr.: MA1250D-114BB
도구유형R&D / Pilot Production Tool주전원 전압 [V]480공정 가스 1O2공정 가스 2CF4공정 가스 3N2공정 가스 4–공정 가스 5–공정 가스 6–온도 센서–챔버 크기[mm(인치)]245 x 245 (9.65 x 9.65) -
Decapsulation-Tool
Artikelnr.: MA3000D-281BB
도구유형High Volume Production Tool주전원 전압 [V]400공정 가스 1O2공정 가스 2N2H2공정 가스 3CF4공정 가스 4N2공정 가스 5–공정 가스 6–온도 센서–챔버 크기[mm(인치)]320 x 320 (12.60 x 12.60) -
Stripping-Tool
Artikelnr.: MA0000D-001BB
도구유형R&D / Pilot Production Tool주전원 전압 [V]208공정 가스 1O2공정 가스 2N2공정 가스 3N2공정 가스 4–공정 가스 5–공정 가스 6–온도 센서2챔버 크기[mm(인치)]245 x 245 (9.65 x 9.65) -
Stripping-Tool
Artikelnr.: MA1250D-110BB
도구유형R&D / Pilot Production Tool주전원 전압 [V]208공정 가스 1O2공정 가스 2N2공정 가스 3N2공정 가스 4–공정 가스 5–공정 가스 6–온도 센서2챔버 크기[mm(인치)]245 x 245 (9.65 x 9.65) -
Stripping-Tool
Artikelnr.: MA1250D-112BB
도구유형R&D / Pilot Production Tool주전원 전압 [V]400공정 가스 1O2공정 가스 2CF4공정 가스 3N2공정 가스 4–공정 가스 5–공정 가스 6–온도 센서2챔버 크기[mm(인치)]245 x 245 (9.65 x 9.65) -
Stripping-Tool
Artikelnr.: MA1250D-115BB
도구유형R&D / Pilot Production Tool주전원 전압 [V]208공정 가스 1O2공정 가스 2N2공정 가스 3N2공정 가스 4–공정 가스 5–공정 가스 6–온도 센서2챔버 크기[mm(인치)]245 x 245 (9.65 x 9.65) -
Stripping-Tool
Artikelnr.: MA1250D-117BB
도구유형R&D / Pilot Production Tool주전원 전압 [V]400공정 가스 1O2공정 가스 2N2공정 가스 3CF4공정 가스 4–공정 가스 5–공정 가스 6–온도 센서2챔버 크기[mm(인치)]245 x 245 (9.65 x 9.65) -
Stripping-Tool
Artikelnr.: MA1250D-118BB
도구유형R&D / Pilot Production Tool주전원 전압 [V]480공정 가스 1O2공정 가스 2N2공정 가스 3CF4공정 가스 4N2공정 가스 5–공정 가스 6–온도 센서2챔버 크기[mm(인치)]245 x 245 (9.65 x 9.65)