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N2H2

N2H2
  • Decapsulation-Tool

    Artikelnr.: MA3000D-281BB

    도구유형
    High Volume Production Tool
    주전원 전압 [V]
    400
    공정 가스 1
    O2
    공정 가스 2
    N2H2
    공정 가스 3
    CF4
    공정 가스 4
    N2
    공정 가스 5
    –
    공정 가스 6
    –
    온도 센서
    –
    챔버 크기[mm(인치)]
    320 x 320 (12.60 x 12.60)
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