Muegge Produkte
CF4
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Decapsulation-Tool
Artikelnr.: MA1250D-114BB
도구유형R&D / Pilot Production Tool주전원 전압 [V]480공정 가스 1O2공정 가스 2CF4공정 가스 3N2공정 가스 4–공정 가스 5–공정 가스 6–온도 센서–챔버 크기[mm(인치)]245 x 245 (9.65 x 9.65) -
Stripping-Tool
Artikelnr.: MA1250D-112BB
도구유형R&D / Pilot Production Tool주전원 전압 [V]400공정 가스 1O2공정 가스 2CF4공정 가스 3N2공정 가스 4–공정 가스 5–공정 가스 6–온도 센서2챔버 크기[mm(인치)]245 x 245 (9.65 x 9.65) -
Stripping-Tool
Artikelnr.: MA3000D-201BB
도구유형High Volume Production Tool주전원 전압 [V]400공정 가스 1O2공정 가스 2CF4공정 가스 3N2공정 가스 4O2공정 가스 5–공정 가스 6–온도 센서9챔버 크기[mm(인치)]470 x 470 (18.50 x 18.50) -
Stripping-Tool
Artikelnr.: MA3000D-221BB
도구유형High Volume Production Tool주전원 전압 [V]400공정 가스 1O2공정 가스 2CF4공정 가스 3N2공정 가스 4–공정 가스 5–공정 가스 6–온도 센서5챔버 크기[mm(인치)]470 x 470 (18.50 x 18.50) -
Stripping-Tool
Artikelnr.: MA3000D-251BB
도구유형High Volume Production Tool주전원 전압 [V]400공정 가스 1O2공정 가스 2CF4공정 가스 3N2공정 가스 4–공정 가스 5–공정 가스 6–온도 센서9챔버 크기[mm(인치)]470 x 470 (18.50 x 18.50) -
Stripping-Tool
Artikelnr.: MA3000D-271BB
도구유형High Volume Production Tool주전원 전압 [V]480공정 가스 1O2공정 가스 2CF4공정 가스 3N2공정 가스 4O2공정 가스 5–공정 가스 6–온도 센서9챔버 크기[mm(인치)]470 x 470 (18.50 x 18.50) -
Stripping-Tool
Artikelnr.: MA3000D-291BB
도구유형High Volume Production Tool주전원 전압 [V]400공정 가스 1O2공정 가스 2CF4공정 가스 3N2공정 가스 4O2공정 가스 5–공정 가스 6–온도 센서9챔버 크기[mm(인치)]470 x 470 (18.50 x 18.50) -
Stripping-Tool
Artikelnr.: MA3000D-301BB
도구유형High Volume Production Tool주전원 전압 [V]480공정 가스 1O2공정 가스 2CF4공정 가스 3N2공정 가스 4–공정 가스 5–공정 가스 6–온도 센서5챔버 크기[mm(인치)]470 x 470 (18.50 x 18.50)