Muegge Produkte

400

400
  • Decapsulation-Tool

    Artikelnr.: MA3000D-211BB

    도구유형
    High Volume Production Tool
    주전원 전압 [V]
    400
    공정 가스 1
    O2
    공정 가스 2
    O2
    공정 가스 3
    N2
    공정 가스 4
    CF4
    공정 가스 5
    SF6
    공정 가스 6
    Ar
    온도 센서
    –
    챔버 크기[mm(인치)]
    320 x 320 (12.60 x 12.60)
    Mehr Details
  • Decapsulation-Tool

    Artikelnr.: MA3000D-241BB

    도구유형
    High Volume Production Tool
    주전원 전압 [V]
    400
    공정 가스 1
    O2
    공정 가스 2
    O2
    공정 가스 3
    CF4
    공정 가스 4
    N2H2
    공정 가스 5
    SF6
    공정 가스 6
    N2
    온도 센서
    –
    챔버 크기[mm(인치)]
    320 x 320 (12.60 x 12.60)
    Mehr Details
  • Decapsulation-Tool

    Artikelnr.: MA3000D-281BB

    도구유형
    High Volume Production Tool
    주전원 전압 [V]
    400
    공정 가스 1
    O2
    공정 가스 2
    N2H2
    공정 가스 3
    CF4
    공정 가스 4
    N2
    공정 가스 5
    –
    공정 가스 6
    –
    온도 센서
    –
    챔버 크기[mm(인치)]
    320 x 320 (12.60 x 12.60)
    Mehr Details
  • Decapsulation-Tool

    Artikelnr.: MA3000D-311BB

    도구유형
    High Volume Production Tool
    주전원 전압 [V]
    400
    공정 가스 1
    O2
    공정 가스 2
    O2
    공정 가스 3
    N2
    공정 가스 4
    Ar
    공정 가스 5
    CF4
    공정 가스 6
    SF6
    온도 센서
    –
    챔버 크기[mm(인치)]
    320 x 320 (12.60 x 12.60)
    Mehr Details
  • Power-Supply

    Artikelnr.: MP010KG-113TS

    Frequenz [MHz]
    2450
    출력 전력 CW [W]
    2x 3000
    전원 연결
    3~ (L1 / L2 / L3 / N / PE)
    주전원 연결 제어 회로
    –
    주전원 전압 [V]
    400
    주전원 전압 제어 회로 [V]
    –
    주전원 주파수 [Hz]
    50
    냉각
    air
    최대 펄스 출력 전력[W]
    2x 10000
    전면 패널 (HMI)
    No Front-Panel, No Front-Panel
    고객 인터페이스
    Profinet
    고객 인터페이스 2
    –
    고객 인터페이스 3
    –
    고객 인터페이스 4
    –
    고객 인터페이스 5
    –
    너비 [mm (인치)]
    606 (23,86)
    높이 [mm (인치)]
    2062 (81,18)
    깊이 [mm (인치)]
    881 (34,69)
    보호
    IP00
    아이솔레이터
    No
    전원 공급 기술
    High-Pulse
    Mehr Details
  • Power-Supply

    Artikelnr.: MS075KE-511DL

    Frequenz [MHz]
    915
    출력 전력 CW [W]
    75000
    전원 연결
    3~ (L1 / L2 / L3 / PE)
    주전원 연결 제어 회로
    –
    주전원 전압 [V]
    400
    주전원 전압 제어 회로 [V]
    –
    주전원 주파수 [Hz]
    50
    냉각
    Air-water heat exchanger
    최대 펄스 출력 전력[W]
    –
    전면 패널 (HMI)
    No Front-Panel
    고객 인터페이스
    Can-Bus
    고객 인터페이스 2
    –
    고객 인터페이스 3
    –
    고객 인터페이스 4
    –
    고객 인터페이스 5
    –
    너비 [mm (인치)]
    1200 (47,24)
    높이 [mm (인치)]
    2250 (88,58)
    깊이 [mm (인치)]
    1050 (41,84)
    보호
    IP40
    아이솔레이터
    No
    전원 공급 기술
    Linear
    Mehr Details
  • Power-Supply

    Artikelnr.: MX3000D-171KN

    Frequenz [MHz]
    2450
    출력 전력 CW [W]
    3000
    전원 연결
    3~ (L1 / L2 / L3 / PE)
    주전원 연결 제어 회로
    주전원 전압 [V]
    400
    주전원 전압 제어 회로 [V]
    주전원 주파수 [Hz]
    50 / 60
    냉각
    Air / Water, Air / Water
    최대 펄스 출력 전력[W]
    6000
    전면 패널 (HMI)
    Operating Unit with Main Switch, Operating Unit with Main Switch
    고객 인터페이스
    front display
    고객 인터페이스 2
    Can-Bus
    고객 인터페이스 3
    A/D
    고객 인터페이스 4
    RS-485
    고객 인터페이스 5
    –
    너비 [mm (인치)]
    484 (19,06)
    높이 [mm (인치)]
    128 (5,04)
    깊이 [mm (인치)]
    607 (23,90)
    보호
    IP20
    아이솔레이터
    No
    마그네트론 헤드 관련
    MH3000S-250BF, MH3000S-251BF, MH3000S-252BF
    전원 공급 기술
    Switch-Mode
    Mehr Details
  • Power-Supply, Switch-Mode

    Artikelnr.: MX6000D-154KX

    Frequenz [MHz]
    2450
    출력 전력 CW [W]
    6000
    전원 연결
    3~ (L1 / L2 / L3 / PE)
    주전원 연결 제어 회로
    주전원 전압 [V]
    400
    주전원 전압 제어 회로 [V]
    주전원 주파수 [Hz]
    50 / 60
    냉각
    Air / Water, Air / Water
    최대 펄스 출력 전력[W]
    –
    전면 패널 (HMI)
    Operating Unit with Main Switch, Operating Unit with Main Switch
    고객 인터페이스
    front display
    고객 인터페이스 2
    Can-Bus
    고객 인터페이스 3
    A/D
    고객 인터페이스 4
    Modbus TCP
    고객 인터페이스 5
    –
    너비 [mm (인치)]
    484 (19,06)
    높이 [mm (인치)]
    128 (5,04)
    깊이 [mm (인치)]
    607 (23,90)
    보호
    IP20
    아이솔레이터
    No
    마그네트론 헤드 관련
    MH6000S-250BF, MH6000S-251BF
    전원 공급 기술
    Switch-Mode
    Mehr Details