Muegge Produkte

CF4

CF4
  • Decapsulation-Tool

    Artikelnr.: MA1250D-114BB

    Bauart
    R&D / Pilot Production Tool
    Netzspannung [V]
    480
    Prozessgas 1
    O2
    Prozessgas 2
    CF4
    Prozessgas 3
    N2
    Prozessgas 4
    -
    Prozessgas 5
    -
    Prozessgas 6
    -
    Temperatursensoren
    -
    Arbeitsplattengröße [mm (inch)]
    245 x 245 (9.65 x 9.65)

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  • Stripping-Tool

    Artikelnr.: MA1250D-112BB

    Bauart
    R&D / Pilot Production Tool
    Netzspannung [V]
    400
    Prozessgas 1
    O2
    Prozessgas 2
    CF4
    Prozessgas 3
    N2
    Prozessgas 4
    -
    Prozessgas 5
    -
    Prozessgas 6
    -
    Temperatursensoren
    2
    Arbeitsplattengröße [mm (inch)]
    245 x 245 (9.65 x 9.65)

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  • Stripping-Tool

    Artikelnr.: MA3000D-201BB

    Bauart
    High Volume Production Tool
    Netzspannung [V]
    400
    Prozessgas 1
    O2
    Prozessgas 2
    CF4
    Prozessgas 3
    N2
    Prozessgas 4
    O2
    Prozessgas 5
    -
    Prozessgas 6
    -
    Temperatursensoren
    9
    Arbeitsplattengröße [mm (inch)]
    470 x 470 (18.50 x 18.50)

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  • Stripping-Tool

    Artikelnr.: MA3000D-221BB

    Bauart
    High Volume Production Tool
    Netzspannung [V]
    400
    Prozessgas 1
    O2
    Prozessgas 2
    CF4
    Prozessgas 3
    N2
    Prozessgas 4
    -
    Prozessgas 5
    -
    Prozessgas 6
    -
    Temperatursensoren
    5
    Arbeitsplattengröße [mm (inch)]
    470 x 470 (18.50 x 18.50)

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  • Stripping-Tool

    Artikelnr.: MA3000D-251BB

    Bauart
    High Volume Production Tool
    Netzspannung [V]
    400
    Prozessgas 1
    O2
    Prozessgas 2
    CF4
    Prozessgas 3
    N2
    Prozessgas 4
    -
    Prozessgas 5
    -
    Prozessgas 6
    -
    Temperatursensoren
    9
    Arbeitsplattengröße [mm (inch)]
    470 x 470 (18.50 x 18.50)

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  • Stripping-Tool

    Artikelnr.: MA3000D-271BB

    Bauart
    High Volume Production Tool
    Netzspannung [V]
    480
    Prozessgas 1
    O2
    Prozessgas 2
    CF4
    Prozessgas 3
    N2
    Prozessgas 4
    O2
    Prozessgas 5
    -
    Prozessgas 6
    -
    Temperatursensoren
    9
    Arbeitsplattengröße [mm (inch)]
    470 x 470 (18.50 x 18.50)

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  • Stripping-Tool

    Artikelnr.: MA3000D-291BB

    Bauart
    High Volume Production Tool
    Netzspannung [V]
    400
    Prozessgas 1
    O2
    Prozessgas 2
    CF4
    Prozessgas 3
    N2
    Prozessgas 4
    O2
    Prozessgas 5
    -
    Prozessgas 6
    -
    Temperatursensoren
    9
    Arbeitsplattengröße [mm (inch)]
    470 x 470 (18.50 x 18.50)

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  • Stripping-Tool

    Artikelnr.: MA3000D-301BB

    Bauart
    High Volume Production Tool
    Netzspannung [V]
    480
    Prozessgas 1
    O2
    Prozessgas 2
    CF4
    Prozessgas 3
    N2
    Prozessgas 4
    -
    Prozessgas 5
    -
    Prozessgas 6
    -
    Temperatursensoren
    5
    Arbeitsplattengröße [mm (inch)]
    470 x 470 (18.50 x 18.50)

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