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Saphir

Saphir
  • Radikalquelle (Remote-Plasma-Quelle)

    Artikelnr.: MA2000C-143BB

    Prozess
    Ätzen & Abscheiden (Beschichten)
    Auskoppelgröße
    ISO-K63
    Material Dielektrikum
    Saphir
    Netzspannung Nominal [V]
    230 / 208
    Leistung [W]
    2000
    Frequenz [MHz]
    2450

    Radikalquelle (Remote-Plasma-Quelle)

  • Radikalquelle (Remote-Plasma-Quelle)

    Artikelnr.: MA2000C-823BB

    Prozess
    Ätzen & Abscheiden (Beschichten)
    Auskoppelgröße
    KF40
    Material Dielektrikum
    Saphir
    Netzspannung Nominal [V]
    230 / 208
    Leistung [W]
    2000
    Frequenz [MHz]
    2450

    Radikalquelle (Remote-Plasma-Quelle)

  • Radikalquelle (Remote-Plasma-Quelle)

    Artikelnr.: MA2000C-833BB

    Prozess
    Ätzen & Abscheiden (Beschichten)
    Auskoppelgröße
    ISO-K63
    Material Dielektrikum
    Saphir
    Netzspannung Nominal [V]
    230 / 208
    Leistung [W]
    3000
    Frequenz [MHz]
    2450

    Radikalquelle (Remote-Plasma-Quelle)

  • Radikalquelle (Remote-Plasma-Quelle)

    Artikelnr.: MA2000C-863BB

    Prozess
    Ätzen & Abscheiden (Beschichten)
    Auskoppelgröße
    KF40
    Material Dielektrikum
    Saphir
    Netzspannung Nominal [V]
    230 / 208
    Leistung [W]
    2000
    Frequenz [MHz]
    2450

    Radikalquelle (Remote-Plasma-Quelle)

  • Radikalquelle (Remote-Plasma-Quelle)

    Artikelnr.: MA2000C-873BB

    Prozess
    Ätzen & Abscheiden (Beschichten)
    Auskoppelgröße
    ISO-K63
    Material Dielektrikum
    Saphir
    Netzspannung Nominal [V]
    230 / 208
    Leistung [W]
    2000
    Frequenz [MHz]
    2450

    Radikalquelle (Remote-Plasma-Quelle)

  • Radikalquelle (Remote-Plasma-Quelle)

    Artikelnr.: MA2000C-903BB

    Prozess
    Ätzen & Abscheiden (Beschichten)
    Auskoppelgröße
    KF40
    Material Dielektrikum
    Saphir
    Netzspannung Nominal [V]
    230 / 208
    Leistung [W]
    2000
    Frequenz [MHz]
    2450

    Radikalquelle (Remote-Plasma-Quelle)

  • Radikalquelle (Remote-Plasma-Quelle)

    Artikelnr.: MA2000C-913BB

    Prozess
    Ätzen & Abscheiden (Beschichten)
    Auskoppelgröße
    ISO-K63
    Material Dielektrikum
    Saphir
    Netzspannung Nominal [V]
    230 / 208
    Leistung [W]
    2000
    Frequenz [MHz]
    2450

    Radikalquelle (Remote-Plasma-Quelle)

  • Radikalquelle (Remote-Plasma-Quelle)

    Artikelnr.: MA3000C-403BB

    Prozess
    Ätzen & Abscheiden (Beschichten)
    Auskoppelgröße
    KF40
    Material Dielektrikum
    Saphir
    Netzspannung Nominal [V]
    230 / 208
    Leistung [W]
    3000
    Frequenz [MHz]
    2450

    Radikalquelle (Remote-Plasma-Quelle)