Muegge 제품

480

480
  • 캡슐화 장비

    제품 번호 : MA1250D-114BB

    도구유형
    R&D /파일럿 생산 장비
    주전원 전압 [V]
    480
    공정 가스 1
    O2
    공정 가스 2
    CF4
    공정 가스 3
    N2
    공정 가스 4
    -
    공정 가스 5
    -
    공정 가스 6
    -
    온도 센서
    -
    챔버 크기[mm(인치)]
    245 x 245 (9.65 x 9.65)
  • 제품 번호 : MG030KG-511KE

    Frequenz [MHz]
    915
    출력 전력 CW [W]
    30000
    전원 연결
    3~ (L1 / L2 / L3 / PE)
    주전원 연결 제어 회로
    -
    주전원 전압 [V]
    480
    주전원 전압 제어 회로 [V]
    -
    주전원 주파수 [Hz]
    50 / 60
    냉각
    공기 / 물
    최대 펄스 출력 전력[W]
    -
    전면 패널 (HMI)
    -
    고객 인터페이스
    제어판
    고객 인터페이스 2
    EtherCAT
    고객 인터페이스 3
    A/D
    고객 인터페이스 4
    -
    고객 인터페이스 5
    -
    너비 [mm (인치)]
    1206 (47,48)
    높이 [mm (인치)]
    2160 (85,04)
    깊이 [mm (인치)]
    805 (31,69)
    보호
    IP54
    출력 연결 유형
    WR 975
    출력 연결
    도파관
    아이솔레이터
    아니
    전원 공급 기술
    모드 전환
  • 제품 번호 : MG050KG-511KE

    Frequenz [MHz]
    915
    출력 전력 CW [W]
    50000
    전원 연결
    3~ (L1 / L2 / L3 / PE)
    주전원 연결 제어 회로
    -
    주전원 전압 [V]
    480
    주전원 전압 제어 회로 [V]
    -
    주전원 주파수 [Hz]
    50 / 60
    냉각
    공기 / 물
    최대 펄스 출력 전력[W]
    -
    전면 패널 (HMI)
    -
    고객 인터페이스
    제어판
    고객 인터페이스 2
    EtherCAT
    고객 인터페이스 3
    A/D
    고객 인터페이스 4
    -
    고객 인터페이스 5
    -
    너비 [mm (인치)]
    1206 (47,48)
    높이 [mm (인치)]
    2160 (85,04)
    깊이 [mm (인치)]
    805 (31,69)
    보호
    IP54
    출력 연결 유형
    WR 975
    출력 연결
    도파관
    아이솔레이터
    아니
    전원 공급 기술
    모드 전환
  • 스트리핑 장비

    제품 번호 : MA1250D-118BB

    도구유형
    R&D /파일럿 생산 장비
    주전원 전압 [V]
    480
    공정 가스 1
    O2
    공정 가스 2
    N2
    공정 가스 3
    CF4
    공정 가스 4
    N2
    공정 가스 5
    -
    공정 가스 6
    -
    온도 센서
    2
    챔버 크기[mm(인치)]
    245 x 245 (9.65 x 9.65)
  • 스트리핑 장비

    제품 번호 : MA3000D-271BB

    도구유형
    양산용 장비
    주전원 전압 [V]
    480
    공정 가스 1
    O2
    공정 가스 2
    CF4
    공정 가스 3
    N2
    공정 가스 4
    O2
    공정 가스 5
    -
    공정 가스 6
    -
    온도 센서
    9
    챔버 크기[mm(인치)]
    470 x 470 (18.50 x 18.50)
  • 스트리핑 장비

    제품 번호 : MA3000D-301BB

    도구유형
    양산용 장비
    주전원 전압 [V]
    480
    공정 가스 1
    O2
    공정 가스 2
    CF4
    공정 가스 3
    N2
    공정 가스 4
    -
    공정 가스 5
    -
    공정 가스 6
    -
    온도 센서
    5
    챔버 크기[mm(인치)]
    470 x 470 (18.50 x 18.50)
  • 제품 번호 : MS015KE-114DG

    Frequenz [MHz]
    2450
    출력 전력 CW [W]
    15000
    전원 연결
    3~ (L1 / L2 / L3 / PE)
    주전원 연결 제어 회로
    -
    주전원 전압 [V]
    480
    주전원 전압 제어 회로 [V]
    -
    주전원 주파수 [Hz]
    50 / 60
    냉각
    공기
    최대 펄스 출력 전력[W]
    -
    전면 패널 (HMI)
    전면 패널 없음
    고객 인터페이스
    RS-232
    고객 인터페이스 2
    제어판
    고객 인터페이스 3
    -
    고객 인터페이스 4
    -
    고객 인터페이스 5
    -
    너비 [mm (인치)]
    806 (31,73)
    높이 [mm (인치)]
    2202 (86,69)
    깊이 [mm (인치)]
    676,7 (26,64)
    보호
    IP54
    아이솔레이터
    아니
    전원 공급 기술
    선의
  • 제품 번호 : MS100KE-511DE

    Frequenz [MHz]
    915
    출력 전력 CW [W]
    100000
    전원 연결
    3~ (L1 / L2 / L3 / PE)
    주전원 연결 제어 회로
    -
    주전원 전압 [V]
    480
    주전원 전압 제어 회로 [V]
    -
    주전원 주파수 [Hz]
    50
    냉각
    공-수 열 교환기
    최대 펄스 출력 전력[W]
    -
    전면 패널 (HMI)
    전면 패널 없음
    고객 인터페이스
    A/D
    고객 인터페이스 2
    제어판
    고객 인터페이스 3
    -
    고객 인터페이스 4
    -
    고객 인터페이스 5
    -
    너비 [mm (인치)]
    1206 (47,48)
    높이 [mm (인치)]
    2262 (89,06)
    깊이 [mm (인치)]
    1108 (43,62)
    보호
    IP54
    아이솔레이터
    아니
    전원 공급 기술
    선의