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더블

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  • 플라즈마 어레이(대면적)

    Artikelnr.: MA4000Y-153BC

    Process
    에칭 및 증착
    Output Connection Type
    플라즈마 영역 320mm x 320mm
    Dielectric material
    세라믹
    Output Power CW [W]
    2000
    Frequency [MHz]
    2450
    Gas manifold
    더블

    Flächenplasmaquelle

    Mehr Details
  • 플라즈마 어레이(대면적)

    Artikelnr.: MA6000Y-013BC

    Process
    에칭 및 증착
    Output Connection Type
    플라즈마 영역 700 mm x 226 mm
    Dielectric material
    세라믹
    Output Power CW [W]
    2x 3000
    Frequency [MHz]
    2450
    Gas manifold
    더블

    Flächenplasmaquelle

    Mehr Details
  • 플라즈마 어레이(대면적)

    Artikelnr.: MA6000Y-023BC

    Process
    에칭 및 증착
    Output Connection Type
    플라즈마 영역 797,5 mm x 150 mm
    Dielectric material
    세라믹
    Output Power CW [W]
    2x 3000
    Frequency [MHz]
    2450
    Gas manifold
    더블

    Flächenplasmaquelle

    Mehr Details
  • 플라즈마 어레이(대면적)

    Artikelnr.: MA6000Y-033BC

    Process
    에칭 및 증착
    Output Connection Type
    플라즈마 영역 520 mm x 340 mm
    Dielectric material
    세라믹
    Output Power CW [W]
    2x 3000
    Frequency [MHz]
    2450
    Gas manifold
    더블

    Flächenplasmaquelle

    Mehr Details