Muegge 제품

스트리핑 장비

스트리핑 장비
  • 스트리핑 장비

    제품 번호 : MA0000D-001BB

    도구유형
    R&D /파일럿 생산 장비
    주전원 전압 [V]
    208
    공정 가스 1
    O2
    공정 가스 2
    N2
    공정 가스 3
    N2
    공정 가스 4
    -
    공정 가스 5
    -
    공정 가스 6
    -
    온도 센서
    2
    챔버 크기[mm(인치)]
    245 x 245 (9.65 x 9.65)

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  • 스트리핑 장비

    제품 번호 : MA1250D-110BB

    도구유형
    R&D /파일럿 생산 장비
    주전원 전압 [V]
    208
    공정 가스 1
    O2
    공정 가스 2
    N2
    공정 가스 3
    N2
    공정 가스 4
    -
    공정 가스 5
    -
    공정 가스 6
    -
    온도 센서
    2
    챔버 크기[mm(인치)]
    245 x 245 (9.65 x 9.65)

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  • 스트리핑 장비

    제품 번호 : MA1250D-112BB

    도구유형
    R&D /파일럿 생산 장비
    주전원 전압 [V]
    400
    공정 가스 1
    O2
    공정 가스 2
    CF4
    공정 가스 3
    N2
    공정 가스 4
    -
    공정 가스 5
    -
    공정 가스 6
    -
    온도 센서
    2
    챔버 크기[mm(인치)]
    245 x 245 (9.65 x 9.65)

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  • 스트리핑 장비

    제품 번호 : MA1250D-115BB

    도구유형
    R&D /파일럿 생산 장비
    주전원 전압 [V]
    208
    공정 가스 1
    O2
    공정 가스 2
    N2
    공정 가스 3
    N2
    공정 가스 4
    -
    공정 가스 5
    -
    공정 가스 6
    -
    온도 센서
    2
    챔버 크기[mm(인치)]
    245 x 245 (9.65 x 9.65)

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  • 스트리핑 장비

    제품 번호 : MA1250D-117BB

    도구유형
    R&D /파일럿 생산 장비
    주전원 전압 [V]
    400
    공정 가스 1
    O2
    공정 가스 2
    N2
    공정 가스 3
    CF4
    공정 가스 4
    -
    공정 가스 5
    -
    공정 가스 6
    -
    온도 센서
    2
    챔버 크기[mm(인치)]
    245 x 245 (9.65 x 9.65)

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  • 스트리핑 장비

    제품 번호 : MA1250D-118BB

    도구유형
    R&D /파일럿 생산 장비
    주전원 전압 [V]
    480
    공정 가스 1
    O2
    공정 가스 2
    N2
    공정 가스 3
    CF4
    공정 가스 4
    N2
    공정 가스 5
    -
    공정 가스 6
    -
    온도 센서
    2
    챔버 크기[mm(인치)]
    245 x 245 (9.65 x 9.65)

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  • 스트리핑 장비

    제품 번호 : MA3000D-201BB

    도구유형
    양산용 장비
    주전원 전압 [V]
    400
    공정 가스 1
    O2
    공정 가스 2
    CF4
    공정 가스 3
    N2
    공정 가스 4
    O2
    공정 가스 5
    -
    공정 가스 6
    -
    온도 센서
    9
    챔버 크기[mm(인치)]
    470 x 470 (18.50 x 18.50)

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  • 스트리핑 장비

    제품 번호 : MA3000D-221BB

    도구유형
    양산용 장비
    주전원 전압 [V]
    400
    공정 가스 1
    O2
    공정 가스 2
    CF4
    공정 가스 3
    N2
    공정 가스 4
    -
    공정 가스 5
    -
    공정 가스 6
    -
    온도 센서
    5
    챔버 크기[mm(인치)]
    470 x 470 (18.50 x 18.50)

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