Impulse
Von Experten

Viele Branchen entdecken die Mikrowellen- und Plasmatechnologie für sich - um Prozesse zu beschleunigen, zu präzisieren, energieeffizienter zu gestalten. Als weltweit führender Hersteller bewegen sich unsere Experten an der Quelle der Entwicklungen. Steigen Sie im MUEGGE Blog tiefer ein in die Materie aus der die Energielösungen der Zukunft bestehen.
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MEMS / Semi-Conductor Photoresist Removal after High Dose Implant (HDIS)
High Dose Implant Strip (HDIS) – Challengeable process in semiconductor manufacturing Photoresist strip after high dose implant strip remains one of the most demanding processes …
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MEMS / Semi-Conductor Endpoint Control for Thick Photoresist Removal
Complete removal of thick photoresist needs proper endpoint detection Applying microwave (MW) plasma to remove thick resist such as used for micro-machinery and microelectromechanical systems …
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MEMS / Semi-Conductor Quality leaps in Micromachinery and MEMS
Removal of thick and embedded photoresist – A case for isotropic microwave plasma Microwave plasma is the perfect solution for removing thick resist such as …
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Der Fortschritt steckt im Detail. Informieren Sie sich über aktuelle Erkenntnisse und fortschrittliche Anwendungsentwicklungen in der Mikrowellen- und Plasmatechnologie - direkt von unseren Experten, zugeschnitten auf Ihre Prozessoptimierung.

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