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Plasmafläche 797,5 mm x 150 mm

Plasmafläche 797,5 mm x 150 mm
  • Flächenplasmaquelle

    Artikelnr.: MA6000Y-023BC

    Prozess
    Ätzen & Abscheiden (Beschichten)
    Auskoppelgröße
    Plasmafläche 797,5 mm x 150 mm
    Material Dielektrikum
    Keramik
    Leistung [W]
    2x 3000
    Frequenz [MHz]
    2450
    Gasdusche
    Zweifach

    Flächenplasmaquelle

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