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Plasmafläche 520 mm x 340 mm

Plasmafläche 520 mm x 340 mm
  • Flächenplasmaquelle

    Artikelnr.: MA6000Y-033BC

    Process
    Ätzen & Abscheiden (Beschichten)
    Output Connection Type
    Plasmafläche 520 mm x 340 mm
    Dielectric material
    Keramik
    Mains voltage nominal [V]
    -
    Output Power CW [W]
    2x 3000
    Frequency [MHz]
    2450
    Gas manifold
    Zweifach
    Waveguide size
    Coaxial
    Reactor outlet
    ø20 mm x 1,5 mm x 564 mm

    Flächenplasmaquelle

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