Muegge Produkte
Flächenplasmaquelle
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Flächenplasmaquelle
Artikelnr.: MA4000Y-013BC
ProcessÄtzen & Abscheiden (Beschichten)Output Connection TypePlasmafläche 320 mm x 320 mmDielectric materialKeramikMains voltage nominal [V]-Output Power CW [W]2000Frequency [MHz]2450Gas manifoldEinfachWaveguide sizeCoaxialReactor outlet-Flächenplasmaquelle
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Flächenplasmaquelle
Artikelnr.: MA4000Y-073BC
ProcessÄtzen & Abscheiden (Beschichten)Output Connection TypePlasmafläche 338 mm x 408 mmDielectric materialKeramikMains voltage nominal [V]-Output Power CW [W]2x 2000Frequency [MHz]2450Gas manifoldEinfachWaveguide sizeCoaxialReactor outlet-Flächenplasmaquelle
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Flächenplasmaquelle
Artikelnr.: MA4000Y-083BC
ProcessÄtzen & Abscheiden (Beschichten)Output Connection TypePlasmafläche 320 mm x 320 mmDielectric materialKeramikOutput Power CW [W]3000Frequency [MHz]2450Gas manifoldEinfachFlächenplasmaquelle
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Flächenplasmaquelle
Artikelnr.: MA4000Y-093BC
ProcessÄtzen & Abscheiden (Beschichten)Output Connection TypePlasmafläche 320 mm x 320 mmDielectric materialKeramikOutput Power CW [W]2000Frequency [MHz]2450Gas manifoldEinfachFlächenplasmaquelle
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Flächenplasmaquelle
Artikelnr.: MA4000Y-103BC
ProcessÄtzen & Abscheiden (Beschichten)Output Connection TypePlasmafläche 338 mm x 408 mmDielectric materialKeramikMains voltage nominal [V]-Output Power CW [W]2x 2000Frequency [MHz]2450Gas manifoldEinfachFlächenplasmaquelle
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Flächenplasmaquelle
Artikelnr.: MA4000Y-123BC
ProcessÄtzen & Abscheiden (Beschichten)Output Connection TypePlasmafläche 320 mm x 320 mmDielectric materialKeramikMains voltage nominal [V]-Output Power CW [W]2000Frequency [MHz]2450Gas manifoldEinfachWaveguide sizeCoaxialReactor outlet-Flächenplasmaquelle
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Flächenplasmaquelle
Artikelnr.: MA4000Y-153BC
ProcessÄtzen & Abscheiden (Beschichten)Output Connection TypePlasmafläche 320 mm x 320 mmDielectric materialKeramikOutput Power CW [W]2000Frequency [MHz]2450Gas manifoldZweifachFlächenplasmaquelle
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Flächenplasmaquelle
Artikelnr.: MA6000Y-013BC
ProcessÄtzen & Abscheiden (Beschichten)Output Connection TypePlasmafläche 700 mm x 226 mmDielectric materialKeramikOutput Power CW [W]2x 3000Frequency [MHz]2450Gas manifoldZweifachFlächenplasmaquelle